主要工作原理為通過單晶硅諧振式傳感器上的兩上H形的振動梁分別將差壓、壓力信號轉換成頻率電流信號,再傳輸到脈沖計數器,再將兩頻率之差直接傳遞到CPU 進行數據處理,經D/A 轉換器轉換為與輸入信號相對應的4~20mADC 的輸出信號,并在模擬信號上疊加一個BRAIN/HART 數字信號進行通信。 1、結構原理單晶硅諧振傳感器的核心部分,即在一單晶硅芯片上采用微電子機械加工技術(MEMS),分別在其表面的中心和邊緣作成兩個形狀、大小*一致的H 形狀的諧振梁(H型狀諧振器有兩個振梁),且處于微型真空腔中,使其即不與充灌液接觸,又確保振動時不受空氣阻尼的影響。
2、諧振梁振動原理硅諧振梁處于由磁鐵提供的磁場中,與變壓器、放大器等組成一正反饋回路,讓諧振梁在回路中產生振蕩。
3、受力情況當單晶硅片的上下表面受到壓力并形成壓力差時將產生形變,中心處受至壓縮力,邊緣處受到張力,因而兩個形狀振梁分別感受不同應變作用,其結果是中心諧振梁受壓縮力而頻減少,邊側諧振梁因受張力而頻率之差對應不同的壓力信號。現(xiàn)貨型號:EJA110E-JMH5J-919NB
EJA110E-JMS5J-919NB
EJA110E-JLH4J-919NB
EJA110E-JHS5J-919NB