NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):
- 不銹鋼,鋁質(zhì)腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
- 70,250或500 l/s的渦輪分子泵,串接機(jī)械泵或干泵
- 13.56MHz,300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源
- 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率
- 帶觀察視窗的腔門易于上下載片
- 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
- 帶密碼保護(hù)功能的多級(jí)訪問控制
- *的安全聯(lián)鎖
選配項(xiàng):NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機(jī)
- 向上、向下或側(cè)面濺射
- RF、DC以及脈沖DC濺射
- 共濺射、反應(yīng)濺射
- 組合濺射
- RF或DC偏壓(1000V)
- 樣品臺(tái)可加熱到700°C
- 膜厚監(jiān)測(cè)儀
- 基片的RF射頻等離子清洗
- 預(yù)真空鎖以及自動(dòng)晶圓片上/下載片
應(yīng)用:
- 晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質(zhì)涂覆
- 光學(xué)以及ITO涂覆
- 帶高溫樣品臺(tái)和脈沖DC電源的硬涂覆
- 帶RF射頻等離子放電的反應(yīng)濺射
型號(hào):
- NSC-4000:基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的獨(dú)立式系統(tǒng)
- NSC-3500:基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的緊湊型獨(dú)立式系統(tǒng)
- NSC-3000:PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的臺(tái)式系統(tǒng)
- NSC-1000:半自動(dòng)控制的臺(tái)式系統(tǒng)
(以下為雙系統(tǒng)型號(hào))
- NSR-4000:濺射/RIE系統(tǒng)
- NSP-4000:濺射/PECVD系統(tǒng)
- NST-4000:濺射/熱蒸發(fā)系統(tǒng)