setra西特730系列真空電容式壓力傳感器
Setra 的 730 型是一款高精度的電容式壓力計(jì)（亦稱電容
式膜片真空計(jì) （CDG）），適合在光伏、半導(dǎo)體和工業(yè)市場
中測量對過程控制至關(guān)重要的低真空范圍。該產(chǎn)品讀數(shù)精
度達(dá) ±0.5%，分辨率高，優(yōu)于同類產(chǎn)品。 730 型使用全
InconelTM 接液材料，可承受半導(dǎo)體加工過程中的腐蝕性介
質(zhì)。由于采用直接測量設(shè)計(jì)，它能精確測量介質(zhì)，不受應(yīng)
用
setra西特730系列真空電容式壓力傳感器
setra西特730系列真空電容式壓力傳感器
Setra 的 730 型是一款高精度的電容式壓力計(jì)（亦稱電容
式膜片真空計(jì) (CDG)），適合在光伏、半導(dǎo)體和工業(yè)市場
中測量對過程控制至關(guān)重要的低真空范圍。該產(chǎn)品讀數(shù)精
度達(dá) ±0.5%，分辨率高，優(yōu)于同類產(chǎn)品。 730 型使用全
InconelTM 接液材料，可承受半導(dǎo)體加工過程中的腐蝕性介
質(zhì)。由于采用直接測量設(shè)計(jì)，它能精確測量介質(zhì)，不受應(yīng)
用中氣體混合物成分的影響。應(yīng)用·半導(dǎo)體處理室·石化·等離子體滅菌器·真空包裝，領(lǐng)域，
友情提示：
用戶再定貨前需要注明蕞終用戶和購買之前要經(jīng)過美國方面審批從才可以訂貨，如填寫虛假用戶一切責(zé)任由用戶承擔(dān)。此產(chǎn)品和西特的760，761，141產(chǎn)品受到嚴(yán)格管制，建議客戶一次購買時(shí)多買一個(gè)做備件，此產(chǎn)品審批時(shí)間和訂貨周期都要比一般的西特的壓力產(chǎn)品長很多。
特性
·高精度：±0.5% 讀數(shù)
·張緊的膜片保證優(yōu)異的性能
·工作溫度補(bǔ)償范圍寬
·回路噪聲低，響應(yīng)快
·不易受環(huán)境條件變化影響
·出色的抗過壓設(shè)計(jì)
·符合 CE 和 RoHS 規(guī)范
應(yīng)用
·半導(dǎo)體處理室
·石化
·等離子體滅菌器
·真空包裝
■ 耐化學(xué)品的 InconelTM 設(shè)計(jì)
■ 精確的低真空測量
■ 壓力接頭適合苛刻應(yīng)用的高性能產(chǎn)品
采用單膜片可變電容感應(yīng)元件，適用于苛刻的半導(dǎo)體和工
業(yè)真空應(yīng)用。它具有讀數(shù)精度和分辨率高、動態(tài)范圍寬的
特點(diǎn)，使之成為關(guān)鍵制造過程中的理想選擇。
Inconel® 設(shè)計(jì)保證通用性
所有接液部件均采用 Inconel TM 材料，因此對半導(dǎo)體
和工業(yè)真空過程中的腐蝕性介質(zhì)具有*的耐受性。
Inconel TM 材 料 結(jié) 合 全 焊 接 結(jié) 構(gòu)， 確 保 730 型 在 這 類
應(yīng)用中的長使用壽命。
直接壓力測量
內(nèi)置膜片可在使用點(diǎn)直接測量壓力變化。與其他工業(yè)
電容式壓力計(jì)不同， 730 型測量直接壓力，不受被測
混合氣的影響，這使其精度優(yōu)于間接測量型壓力計(jì)。
技術(shù)規(guī)格：
電壓輸出
電路3線
激勵14-30VDC;9-30VDC
輸出0-10VDC**;0-5VDC**
輸出阻抗<1Ω
功耗<200mW
CE認(rèn)證89/336/EEC重工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
MODEL720的環(huán)境參數(shù)
工作溫度-20～+80℃(-4～+176℉)
存儲溫度-40～+125℃(-40～+257℉)
沖擊50g
MODEL730的溫度影響
補(bǔ)償范圍0～+50℃(+32～+122℉)
零點(diǎn)漂移±0.005%FS/℃(±0.01%FS/℉)
量程漂移±0.027%RDG/℃
物理參數(shù)
殼體不銹鋼
電氣連接9針D型插座
壓力連接見訂購指南
接液部件InconelRRRRR
壓力介質(zhì)與InconelRRRRR相容的液體或氣體.InconelRRRRR接液部分僅配0.5″管的壓力接頭.選擇其它的壓力接頭需要加不銹鋼.
重量(約)137克
腔體體積<6.2立方厘米
MODEL730的性能參數(shù)
精度±0.5%FSBBBBBBBBBB±0.25%FS(可選)
響應(yīng)時(shí)間20ms
*穩(wěn)定性±0.5%FS/年
分辨率無限,僅受輸出噪聲的限制(0.01%FS)
