FPD/LSI檢查顯微鏡
集尼康光學(xué)技術(shù)于一身的CFI60光學(xué)系統(tǒng)，在亮度、對(duì)比度和可操作性能方面都達(dá)到的高度，適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級(jí)檢查。
集尼康光學(xué)技術(shù)于一身的CFI60光學(xué)系統(tǒng)，在亮度、對(duì)比度和可操作性能方面都達(dá)到的高度，適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級(jí)檢查。
大觀察樣品:Ø300 mm晶片FPD/LSI檢查顯微鏡
觀察倍率15X～3000X（視目鏡和物鏡的組合而定）；FPD/LSI檢查顯微鏡
使用CFI60光學(xué)系統(tǒng)，*消除耀斑影響，對(duì)比度更高，成象更加清晰、明亮；
物鏡齊焦距為60mm，可以兼顧高數(shù)值孔徑和長(zhǎng)工作距離兩方面的要求；
主機(jī)剛性高，具有很好的抗振性能，具有防塵、防污染、防靜電功能；
光亮調(diào)節(jié)、孔徑調(diào)節(jié)、物鏡轉(zhuǎn)換等操作都集中在前面，使用方便，即使*操作也不易產(chǎn)生疲勞；
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L300ND/反射.透射照明兩用型
規(guī)格 | ||
| ECLIPSE L300N | ECLIPSE L300ND | |
| (落射照明型） | （透射/落射照明型） | |
| 主機(jī) | 內(nèi)置12V-50W鹵素?zé)艄庠?；?nèi)置用于電動(dòng)控制器的電源 | |
用于物鏡轉(zhuǎn)換器的電動(dòng)控制器、鹵素?zé)袅炼瓤刂啤?/p> | ||
光圈葉片控制器 | ||
物鏡轉(zhuǎn)換器：具備物鏡轉(zhuǎn)換器 | ||
對(duì)能的電動(dòng)通用六座物鏡轉(zhuǎn)換器 | ||
| — | 反射/透射切換器 | |
| 調(diào)焦 部分 | 對(duì)焦部:行程29mm | |
粗調(diào):12.7mm/轉(zhuǎn)(可扭距調(diào)節(jié).帶重新對(duì)焦機(jī)能) | ||
微調(diào):0.1mm/轉(zhuǎn)(以u(píng)m為單位) | ||
| 反射 照明部 | 12V50W高亮度鹵素?zé)粽彰餮b置 | |
孔徑光闌（電動(dòng).可調(diào)心)、視場(chǎng)光闌（固定.帶對(duì)焦目標(biāo)) | ||
可插入小孔光闌滑塊(OPTION) | ||
可插入∮25mm濾光片(NCB、ND2、ND4）、起偏器/檢偏器 | ||
觀察方法：明場(chǎng)、暗場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉、反射熒光 | ||
（僅用于L300N/L300ND/L200ND） | ||
| 透射 照明部 | — | 12W50W高亮度鹵素?zé)?br />照明裝置 |
內(nèi)置孔徑光闌 | ||
內(nèi)置LWD聚光器 | ||
| 接口 | USBx1，RS232C（用于Intensilight)x1 | |
| 鏡筒 | L2-TTA超大視場(chǎng)正立調(diào)傾式三目鏡筒（視角0～30°） | |
視場(chǎng)數(shù)25、光分光100：0/0：100 | ||
L2-TT2A超大視場(chǎng)正立調(diào)傾式三目鏡筒（俯角0～30°） | ||
視場(chǎng)數(shù)25、光分光100：0/20：80 | ||
LV-T13正立三目鏡筒 | ||
視場(chǎng)數(shù)25、光分光100：0/0：100 | ||
| 目鏡 | CFI目鏡 | |
| 物鏡 | CFI60系列物鏡 | |
載物臺(tái) | 14x12載物臺(tái)、行程354mmx302mm | |
（透射觀察范圍：354mmx268mm） | ||
帶粗/微動(dòng)切換功能 | ||
微動(dòng)手輪位置固定 | ||
| 防靜電 功能 | 從1000到10V放電時(shí)間在0.2秒以內(nèi) | |
| 耗電 | 1.2A/90W | |
| 尺寸 | 約360(W)x581(H)x951(D)mm（傾斜角度為10°時(shí)） | |
