小型二合一鍍膜儀
配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件，不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜，也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質(zhì)的薄膜。
詳情介紹：
等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件，不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜，也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質(zhì)的薄膜。儀器元件高度集成化，在同一個(gè)腔體內(nèi)即實(shí)現(xiàn)了兩種鍍膜功能；本鍍膜儀采用高純石英腔體作真空腔體，鍍膜過程*可見。儀器標(biāo)配雙極旋片真空泵，能夠快速達(dá)到1.0E-1Pa的真空度，可滿足大多數(shù)蒸發(fā)鍍膜實(shí)驗(yàn)和二極濺射實(shí)驗(yàn)所需的真空環(huán)境。本儀器體積小，節(jié)省空間，能夠置于試驗(yàn)臺(tái)上使用，一機(jī)多用，性價(jià)比突出，非常適合各大高校及研究機(jī)構(gòu)選用。
小型二合一鍍膜儀適用范圍：
掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作，以及非導(dǎo)體材料試驗(yàn)電極的制作等。
小型二合一鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：
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樣品臺(tái) | 尺寸 | φ80mm | 至蒸發(fā)源間距 | 20mm~50mm可調(diào) |
直流濺射頭 | 數(shù)量 | 2”×1 |
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蒸發(fā)系統(tǒng) | 蒸發(fā)源 | 鎢絲籃 | *高溫度 | 1700℃ |
熱電偶 | S型熱電偶 |
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真空腔體 | 腔體尺寸 | φ180mm×150mm | 觀察窗口 | 全向透明 |
腔體材料 | 高純石英 | 開啟方式 | 頂蓋拆卸式 | |
真空系統(tǒng) | 機(jī)械泵 | 旋片泵 | 抽氣接口 | KF16 |
真空測(cè)量 | 電阻規(guī) | 排氣接口 | KF16 | |
極限真空 | 1.0E-1Pa | 供電電源 | AC;220V 50/60Hz | |
抽氣速率 | 旋片泵：1.1L/S | |||
濺射電源配置 | 數(shù)量 | 直流電源×1 | *大輸出功率 | 150w |
其他 | 供電電壓 | AC220V,50Hz | 整機(jī)尺寸 | 360mm×300mm×470mm |
整機(jī)功率 | 1.5kw | 整機(jī)重量 | 20kg | |
