小型高真空二合一鍍膜儀
配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件，不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜，也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質(zhì)的薄膜。
詳情介紹：
等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件，不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜，也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質(zhì)的薄膜。為了提高鍍膜質(zhì)量，本臺二合一鍍膜儀采用的不銹鋼真空腔體配合精密分子泵的高真空設計，較高的真空度能夠有效的提升鍍膜純凈度和均勻度，有利于得到更好的實驗效果。樣品臺有旋轉(zhuǎn)和加熱功能，能夠提高薄膜的附著力和成膜的均勻度。本儀器體積小，節(jié)省空間，能夠置于試驗臺上使用，非常適合各大高校及研究機構(gòu)選用。
小型高真空二合一鍍膜儀適用范圍：
掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作，以及非導體材料試驗電極的制作等。
小型高真空二合一鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：
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樣品臺 | 尺寸 | φ138mm | 控溫精度 | ±1℃ |
加熱溫度 | *高500℃ | 轉(zhuǎn)速 | 1-20rpm可調(diào) | |
直流濺射頭 | 數(shù)量 | 2”×1 |
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蒸發(fā)系統(tǒng) | 蒸發(fā)源 | 鎢絲籃 | *高溫度 | 1700℃ |
熱電偶 | S型熱電偶 |
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真空腔體 | 腔體尺寸 | φ170mm×200mm | 觀察窗口 | 石英觀察窗 φ70 |
腔體材料 | 不銹鋼 | 開啟方式 | 上開啟式 | |
真空系統(tǒng) | 產(chǎn)品型號 | CY-GZK103-A | 抽氣接口 | KF40 |
分子泵 | CY-600 | 排氣接口 | KF16 | |
前極泵 | 旋片泵 | 真空測量 | 復合真空計 | |
極限真空 | 1.0E-5Pa | |||
抽氣速率 | 分子泵：600L/S 旋片泵：1.1L/S 綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達： 1.0E-3Pa | |||
濺射電源配置 | 數(shù)量 | 直流電源×1 | Max 輸出功率 | 150w |
其他 | 供電電壓 | AC220V,50Hz | 整機尺寸 | 600mm×300mm×470mm |
整機功率 | 1.5kw | 整機重量 | 40kg | |
