臺(tái)達(dá)400W高速高精度伺服驅(qū)動(dòng)器-東莞吉?jiǎng)?chuàng)
臺(tái)達(dá)400W高速高精度伺服驅(qū)動(dòng)器特點(diǎn)
1、運(yùn)行穩(wěn)定;
2、可控性好;
3、響應(yīng)快速;
4、靈敏度高;
5、機(jī)械特性和調(diào)節(jié)特性的非線性度指標(biāo)嚴(yán)格(要求分別小于10%~15%和小于15%~25%)等特點(diǎn);臺(tái)達(dá)伺服電機(jī)|ASD-A2-0421-E|原裝*
臺(tái)達(dá)400W高速高精度伺服驅(qū)動(dòng)器優(yōu)勢(shì)
伺服電機(jī)有交流伺服電機(jī)和直流伺服電機(jī)兩種,臺(tái)達(dá)伺服電機(jī)屬于交流伺服電機(jī),與直流伺服電機(jī)比較,主要優(yōu)勢(shì)如下:臺(tái)達(dá)伺服電機(jī)|ASD-A2-0421-E|原裝*
1、無電刷和換向器,因此工作可靠,對(duì)維護(hù)和保養(yǎng)要求低;
2、定子繞組散熱比較方便;
3、慣量小,易于提高系統(tǒng)的快速性;
4、適應(yīng)于高速大力矩工作狀態(tài);
5、同功率下有較小的體積和重量。
臺(tái)達(dá)400W高速高精度伺服驅(qū)動(dòng)器的應(yīng)用案例
隨著世界能源供應(yīng)的日趨緊張,可再生能源光伏產(chǎn)品發(fā)展迅猛,據(jù)行業(yè)統(tǒng)計(jì)2005年全國(guó)太陽能電池產(chǎn)能為300MW,到 2007年已發(fā)展到1000MW,到2010年我國(guó)太陽能電池/組件產(chǎn)能將達(dá)到5000MW以上,顯示出對(duì)單晶和多晶硅有很大的市場(chǎng)需求,比原來的市場(chǎng)預(yù)期提前了10年以上,也預(yù)示出單晶硅爐的市場(chǎng)需求將成倍增長(zhǎng)。單晶硅爐是半導(dǎo)體材料直拉法晶體設(shè)備,其硅單晶棒料經(jīng)切割等后續(xù)工藝處理成芯片被制作為二極管.太陽能電池.集成電路等半導(dǎo)體材料的主要器件。近幾年來由于能源危機(jī)及地球環(huán)境改善帶來對(duì)新能源,可再生能源的巨大需求,光伏產(chǎn)業(yè)出現(xiàn)*的增長(zhǎng),半導(dǎo)體硅材料的生產(chǎn)又進(jìn)入新的發(fā)展期,因此大力加速發(fā)展可再生能源.硅光伏產(chǎn)業(yè)及共基礎(chǔ)材料---高純半導(dǎo)體硅(單晶.多芯片)材料已成為當(dāng)務(wù)之急,而硅材料的生長(zhǎng)離不開單晶硅爐和多晶硅爐的設(shè)備支持。
二、單晶硅爐的工藝流程簡(jiǎn)介、技術(shù)需求及方案的分析
2-1、單晶硅爐的工藝流程簡(jiǎn)介
單晶硅爐爐的組成組件可分成四部分
(1)爐體:包括石英坩堝,石墨坩堝,加熱及絕熱組件,爐壁
(2)晶棒及坩堝拉升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu):包括籽晶夾頭,吊線及拉升旋轉(zhuǎn)組件
(3)氣氛壓力控制:包括氣體流量控制,真空系統(tǒng)及壓力控制閥
(4)控制系統(tǒng):包括偵測(cè)感應(yīng)器及電腦控制系統(tǒng)
加工工藝:
加料→熔化→縮頸生長(zhǎng)→放肩生長(zhǎng)→等徑生長(zhǎng)→尾部生長(zhǎng)
(1)加料:將多晶硅原料及雜質(zhì)放入石英坩堝內(nèi),雜質(zhì)的種類依電阻的N或P型而定。雜質(zhì)種類有硼,磷,銻,砷。
(2)熔化:加完多晶硅原料于石英堝內(nèi)后,長(zhǎng)晶爐必須關(guān)閉并抽成真空后充入高純氬氣使之維持一定壓力范圍內(nèi),然后打開石墨加熱器電源,加熱至熔化溫度(1420℃)以上,將多晶硅原料熔化。
(3)縮頸生長(zhǎng):當(dāng)硅熔體的溫度穩(wěn)定之后,將籽晶慢慢浸入硅熔體中。由于籽晶與硅熔體場(chǎng)接觸時(shí)的熱應(yīng)力,會(huì)使籽晶產(chǎn)生位錯(cuò),這些位錯(cuò)必須利用縮勁生長(zhǎng)使之消失掉??s頸生長(zhǎng)是將籽晶快速向上提升,使長(zhǎng)出的籽晶的直徑縮小到一定大?。?-6mm)由于位錯(cuò)線與生長(zhǎng)軸成一個(gè)交角,只要縮頸夠長(zhǎng),位錯(cuò)便能長(zhǎng)出晶體表面,產(chǎn)生零位錯(cuò)的晶體。
(4)放肩生長(zhǎng):長(zhǎng)完*之后,須降低溫度與拉速,使得晶體的直徑漸漸增大到所需的大小。
(5)等徑生長(zhǎng):長(zhǎng)完*和肩部之后,借著拉速與溫度的不斷調(diào)整,可使晶棒直徑維持在正負(fù)2mm之間,這段直徑固定的部分即稱為等徑部分。單晶硅片取自于等徑部分。
(6)尾部生長(zhǎng):在長(zhǎng)完等徑部分之后,如果立刻將晶棒與液面分開,那么效應(yīng)力將使得晶棒出現(xiàn)位錯(cuò)與滑移線。于是為了避免此問題的發(fā)生,必須將晶棒的直徑慢慢縮小,直到成一尖點(diǎn)而與液面分開。這一過程稱之為尾部生長(zhǎng)。長(zhǎng)完的晶棒被升*爐室冷卻一段時(shí)間后取出,即完成一次生長(zhǎng)周期。