可在僅3ms內(nèi)測量200~1100nm波長范圍內(nèi)的等離子體的發(fā)射。PlasCals測量系統(tǒng)為數(shù)據(jù)的獲取提供過程控制和精密的數(shù)據(jù)運算。PlasCalc系列等離子體監(jiān)控系統(tǒng)
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編輯工具PlasCalc系列等離子體監(jiān)控系統(tǒng)
編輯工具可以使用戶簡單、快速地設(shè)置、建立和保存實驗方法。利用該工具可以對多數(shù)復(fù)雜的等離子體過程建立簡便而有效的步驟設(shè)置:例如測量薄膜沉積情況、監(jiān)測等離子蝕刻、檢查表面清潔處理、分析等離子室健康控制情況、監(jiān)測反常的污染和排放現(xiàn)象等。
用于簡單的等離子體診斷的多重工具
PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)配有操作軟件,所提供的完整的公式編輯器可以進(jìn)行所有需要的數(shù)學(xué)和算能。我們同時提供一個可選配的放射波長數(shù)據(jù)庫,可以另外單獨購買,它能夠提供種類的鑒定;而波長編輯器則使用戶完成信噪比的優(yōu)化。操作界面包含兩個窗口,可以同時顯示真實的光譜和所有控制過程信息。
SPECIFICATIONS
Spectral range: | 200-1100 nm |
Optical resolution: | 1.0 nm (FWHM) |
D/A converter: | 14 bit |
Digital Input/Output: | 8 x TTL |
Analog Output: | 4 x [0-10V] |
Interface: | USB 1.1 |
Power consumption: | 12 VDC @ 1.25 A |
Power requirements: | 90-240 VAC 50/60 Hz |
Dimensions: | 257 mm x 152 mm x 263 mm |
Weight: | 5 kg |