Alpha-Step D-500臺階儀
探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測量，與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測量。 通過測量粗糙度和應(yīng)力，可以對工藝進(jìn)行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。
Alpha-Step D-500臺階儀Alpha-Step D-500探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D臺階高度。 D-500還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D測量。 D-500包括一個手動140毫米平臺和*的光學(xué)系統(tǒng)以及加強(qiáng)視頻控制。
產(chǎn)品描述Alpha-Step D-500臺階儀
Alpha-Step D-500探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D測量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。
探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測量，與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測量。 通過測量粗糙度和應(yīng)力，可以對工藝進(jìn)行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。
主要功能
· 臺階高度：幾納米至1200μm
· 低觸力：0.03至15mg
· 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭
· 梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真
· 圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動引起的誤差
· 緊湊尺寸：小占地面積的臺式探針式輪廓儀
· 軟件：用戶友好的軟件界面
主要應(yīng)用
· 臺階高度：2D臺階高度
· 紋理：2D粗糙度和波紋度
· 形式：2D翹曲和形狀
· 應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力
