真空系統(tǒng)配置：分子泵、機(jī)械泵、插板閥。
可集成熱蒸發(fā)、磁控濺射等沉積模塊。
SVAC-FilmLab-T臺(tái)式鍍膜設(shè)備
規(guī)格參數(shù)：
真空系統(tǒng)配置：分子泵、機(jī)械泵、插板閥。
大樣品尺寸：6英寸。
外形尺寸：850mm*700mm*1600mm/可定制。
可集成熱蒸發(fā)、磁控濺射等沉積模塊。
開(kāi)門方式：前開(kāi)門或上開(kāi)門。
支持獨(dú)立控制柜。
真空腔室尺寸：Φ350-450mm。
極限真空：小于5×10-5Pa。
我司致力于服務(wù)有機(jī)光電領(lǐng)域，集研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、服務(wù)為一體的專業(yè)設(shè)備制造廠商，竭誠(chéng)為廣大高校、研究所、OLED材料廠提供全面解決方案，目前主要產(chǎn)品有：薄膜沉積系統(tǒng)、材料提純系統(tǒng)、超高真空系統(tǒng)、低溫可視化系統(tǒng)。
致力于有機(jī)光電領(lǐng)域真空鍍膜和升華提純?cè)O(shè)備供應(yīng)商，立足長(zhǎng)三角*，為科研事業(yè)保駕護(hù)航！
