本原掃描探針顯微鏡(SPM)分辨率: 原子力顯微鏡:橫向0.2納米,垂直0.03納米(以云母晶體標定)
(60微米掃描器) 掃描隧道顯微鏡:橫向0.1納米,垂直0.01納米(以石墨晶體標定)
本原掃描探針顯微鏡(SPM)
●高精度計量型儀器,采用NanoSensors提供的可溯源于計量機構(gòu)Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)的標準樣品進行校準
●一鍵式快速全程全自動進樣,無需手動預調(diào),行程大于30毫米,可容納超大樣品,大樣品尺寸為:45×45×30毫米
CSPM5500LS大樣品尺寸可達102毫米×102毫米×30毫米
●兩級可讀數(shù)樣品調(diào)節(jié)機構(gòu),可對樣品進行精確的檢測區(qū)域定位
可選配軟件智能控制可視化二維高精度電控樣品移動平臺,行程6毫米×6毫米,小步進27納米
●一次掃描技術(shù),圖像分辨高達4096×4096物理象素,微米級掃描即可得到納米級的實際信息
●*PID反饋算法實現(xiàn)快速高精度作用力控制,確保系統(tǒng)在高速掃描中穩(wěn)定成像,實際掃描速度提升一個數(shù)量級
●系統(tǒng)采用10M/100M快速以太網(wǎng)(Fast Ethernet 10/100)或USB 3.0與計算機連接,支持固件遠程升級
●主控機箱前面板具有16×4液晶顯示屏,系統(tǒng)當前狀態(tài)實時顯示
●具備實時在線三維圖像顯示功能,便于用戶在檢測過程中隨時直觀獲得樣品信息
●集成了多功能,多模式的新型原子力顯微鏡。
系統(tǒng)功能
●標準模塊:
原子力顯微鏡(AFM):包括接觸、輕敲、相移成像(Phase Imaging)等多種工作模式
橫向力顯微鏡(LFM):具有摩擦力回路曲線、摩擦力載荷曲線、摩擦力恒載荷曲線等摩擦學性能分析測量功能
掃描隧道顯微鏡(STM):包括恒流模式、恒高模式、I-V曲線、I-Z曲線等
曲線測量分析功能:力-距離曲線、振幅-距離曲線、相移-距離曲線等
●選配功能:
納米加工:包括圖形刻蝕模式、壓痕/機械刻畫、矢量掃描模式、DPN浸潤筆模式等
磁力顯微鏡/靜電力顯微鏡
環(huán)境控制掃描探針顯微鏡
液相掃描探針顯微鏡
導電原子力顯微鏡
掃描探針聲學顯微鏡
該模塊可與其他廠家,包括大部分主流的進口SPM聯(lián)用,可單獨購買
掃描開爾文探針顯微鏡
掃描電容顯微鏡
壓電力顯微鏡
該模塊可與其他廠家,包括大部分主流的進口SPM聯(lián)用,可單獨購買
樣品溫度控制系統(tǒng)(控溫范圍:-20~150℃)
該模塊可與其他廠家,包括大部分主流的進口SPM聯(lián)用,可單獨購買
樣品加熱系統(tǒng)(控溫范圍:室溫~250℃)