本公司生產(chǎn)的LFIX全自動動態(tài)配氣裝置用于2路及以上氣體進行比例動態(tài)混合配比,可以對不用的氣體濃度進行測量及控制。精確控制各組分氣體濃度,可進行動態(tài)氣體濃度配比、多達20段分段模式動態(tài)配比,自動計算數(shù)據(jù)并生產(chǎn)成報告,實時在線輸出到終端設(shè)備中,操作人性化,大大提高了使用時的方便性。*零點穩(wěn)定性,每年變動小于滿量程的0.2%;能夠根據(jù)命令變化迅速進行流量響應并且過沖,下沖可忽略不計;流量范圍寬,從3SCCM到3000SLM;耐高壓等級達到10Mpa,可拆卸式流量計,不受安裝角度影響。
1、*零點穩(wěn)定性,每年變動小于滿量程的0.2%;
2、能夠根據(jù)命令變化迅速進行流量響應并且過沖,下沖可忽略不計;
3、流量范圍寬,從3SCCM到3000SLM;
4、耐高壓等級達到10Mpa;
5、可拆卸式流量傳感器
6、能和其他質(zhì)量流量控制器在機械和電氣設(shè)計方面兼容
7、電驅(qū)動閥超調(diào)
耐化學腐蝕閥門