原位納米力學(xué)測(cè)試儀
NMT-SEM納米力學(xué)測(cè)試儀是一款可在SEM/FIB中對(duì)微納米材料和結(jié)構(gòu)的力學(xué)性能進(jìn)行原位測(cè)量的納米機(jī)械手系統(tǒng)。測(cè)試原理是通過(guò)壓阻傳感器探針對(duì)微納結(jié)構(gòu)施加一定的力,同時(shí)利用位移傳感器來(lái)測(cè)量該結(jié)構(gòu)的形變。從測(cè)得的力和位移曲線(xiàn)可以定量地分析微納米結(jié)構(gòu)的力學(xué)性能。通過(guò)控制加載力的大小和方向,可實(shí)現(xiàn)拉伸、壓縮、斷裂、疲勞和蠕變等各種力學(xué)測(cè)試。
原位納米力學(xué)測(cè)試儀簡(jiǎn)介： NMT-SEM納米力學(xué)測(cè)試儀是一款可在SEM/FIB中對(duì)微納米材料和結(jié)構(gòu)的力學(xué)性能進(jìn)行原位測(cè)量的納米機(jī)械手系統(tǒng)。測(cè)試原理是通過(guò)壓阻傳感器探針對(duì)微納結(jié)構(gòu)施加一定的力,同時(shí)利用位移傳感器來(lái)測(cè)量該結(jié)構(gòu)的形變。從測(cè)得的力和位移曲線(xiàn)可以定量地分析微納米結(jié)構(gòu)的力學(xué)性能。通過(guò)控制加載力的大小和方向,可實(shí)現(xiàn)拉伸、壓縮、斷裂、疲勞和蠕變等各種力學(xué)測(cè)試。同時(shí),其配備的導(dǎo)電樣品測(cè)試平臺(tái)可以對(duì)微納米結(jié)構(gòu)的電學(xué)和力學(xué)性能進(jìn)行同步測(cè)試。
原位納米力學(xué)測(cè)試儀
產(chǎn)品概述及性能參數(shù)：
系統(tǒng)整體
系統(tǒng)尺寸：100 mm´ 40 mm ´ 34 mm
系統(tǒng)重量： 300 g + adapter
兼容性： SEM, FIB, dual beam, optical microscope
力學(xué)傳感器
傳感器工作原理：壓阻式
力學(xué)分辨率： 5 nN at 100 Hz
力學(xué)量程： +/- 250 µN
位移粗動(dòng)
移動(dòng)方式：粘滑運(yùn)動(dòng)
自由度： XYZ + optional tilt and rotation
移動(dòng)范圍： 21 mm in Y; 11 mm in XZ; tilt 90°; rotation 360°
移動(dòng)精度： <1 nm in XYZ, 25 μ° in tilt and rotation
移動(dòng)重復(fù)性： 5 nm (per 1 mm range, for closed-loop option only)
大移動(dòng)速度： >15 mm/sec
位移微動(dòng)
移動(dòng)方式：柔性鉸鏈
移動(dòng)范圍：10 µm (custom range available upon request)
移動(dòng)精度：0.1 nm at 100Hz
移動(dòng)重復(fù)性： 0.5 nm
