一次測量，實(shí)現(xiàn)粗糙度、波紋度、輪廓分析
·實(shí)現(xiàn)全范圍內(nèi)的粗糙度、波紋度測量
·X向采用新型數(shù)字式傳感器，精度更高，Z1采用自主研發(fā)高精度多段式電感傳感器
多段式高精度傳感器具有大量程，大限度保持了傳感器的原有精度。
采用高剛性高精度免維護(hù)直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，精密控制系統(tǒng)。
采用高速并行數(shù)據(jù)采集單元，硬件觸發(fā)、硬件高速采樣，無延時(shí)；足夠密集及穩(wěn)定的數(shù)據(jù)源為后期數(shù)據(jù)處理、計(jì)算提供較有力的保障。
基本參數(shù)
測量范圍
X軸：0-200mm可選
Z軸：0-620mm可選
Z1軸：6mm,2mm
輪廓傳感器線性精度：≤±0.07%f.s.(95mm測桿)
粗糙度傳感器線性精度：≤±(12nm + 3%)
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一次測量，實(shí)現(xiàn)高精度輪廓分析及粗糙度分析
技術(shù)特點(diǎn)
·一次測量，實(shí)現(xiàn)粗糙度、波紋度、輪廓分析
·實(shí)現(xiàn)全范圍內(nèi)的粗糙度、波紋度測量
·X向采用新型數(shù)字式傳感器，精度更高，Z1采用自主研發(fā)高精度多段式電感傳感器
多段式高精度傳感器具有大量程，大限度保持了傳感器的原有精度。
采用高剛性高精度免維護(hù)直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，精密控制系統(tǒng)。
采用高速并行數(shù)據(jù)采集單元，硬件觸發(fā)、硬件高速采樣，無延時(shí)；足夠密集及穩(wěn)定的數(shù)據(jù)源為后期數(shù)據(jù)處理、計(jì)算提供有力的保障。
主要技術(shù)參數(shù)
驅(qū)動(dòng)器 行程 采數(shù)間隔 輪廓直線度 粗糙度殘值
標(biāo)準(zhǔn)測桿量程 分辨率
Z1軸傳感器 輪廓線性精度 粗糙度線性精度 粗糙度重復(fù)性
z軸立柱 行程
平臺(tái)（含防振臺(tái)架） 尺寸
規(guī)格
100~220mm
0.05~2 卩 m
W0.3~0.5|_im/100mm
<0.005-0.025pim
±2mm; ±100卩m;
0.015卩m(±2mm)； 0.8nm(±100|im)
W ±0.07% F.s.
W±(12nm + 3%)
18W3nm
320~620mm
500mm* 800mm； 500mm*1000mm；
測量功能
輪廓測量：各種類型工件表面的線要素，點(diǎn)要素、點(diǎn)與點(diǎn)的距離、線與線的距離、各要素的位置度包括距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑，可進(jìn)行直線度分析、凸度分析。
輪廓分析：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
粗糙度測量：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波紋度參數(shù)：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
