基本參數(shù)
X軸:0-220mm可選
Z軸:0-620mm可選
Z1軸:±620μm
Z1線性精度:≤±(5nm + 2.8%)
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特點
高性價比
寬范圍無導(dǎo)頭粗糙度傳感器
可評價粗糙度、波紋度、輪廓度等數(shù)百項參數(shù)
測量功能
粗糙度功能:Ra、Rp、Rv、Rz、Rz(jis)、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波紋度參數(shù):Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
原始輪廓參數(shù):Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
*規(guī)格
X軸 100~220mm
測量范圍 Z軸 Z1軸 320-620mm 土620卩 m/262144: 1
粗湖度參數(shù): 線性精度 <±(5nm + 2.8%)
重復(fù)性6 18《lnm
截止波長 0.025、0.08、0.25、0.& 2S 8mm
評定長度 AcX2> 3、4、5、6、7
殘值噪聲 W0.005|im
驅(qū)動速度 X軸 0.05~15mm/s
Z軸 0.2-15mm/s
粗髓度 粗糙度功能:Ra、Rp、Rv、Rzs Rz (jis)、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、 Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、RAqs Rk、Rpk、Rvk、Mrh Mr2^ Rmr 波薄參數(shù):Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr 原始輪廓參數(shù):Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr