小流量氣體質(zhì)量流量傳感器產(chǎn)品特點(diǎn):
- 傳感器靈敏度高,有小的始動(dòng)流量
- 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳感器的高精度計(jì)量
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高
- 貼壁式安裝,無(wú)直管段要求,易于安裝與使用
- 輸出方式靈活,既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)(RS232)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)(RS232 / I2C),也可通過(guò)模擬接口輸出線性的模擬電壓
- 零點(diǎn)穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性、高精度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗、低壓損
- 響應(yīng)速度快
小流量氣體質(zhì)量流量傳感器技術(shù)參數(shù):
FS4001 | ||
量程范圍 | 0~30,50,200,500,1000,或根據(jù)客戶需求定制 | sccm |
量程比 | >100:1 |
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精度 | ±(1.5±0.2FS) | % |
重復(fù)性 | ±0.25 | % |
零點(diǎn)輸出飄逸 | ±30 | mV |
輸出飄逸 | 0.12 | %/oc |
響應(yīng)時(shí)間 | 100(默認(rèn),50,100,200,500,100設(shè)置) | ms |
工作電源 | 8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 | RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓損 | 900 | Pa |
大流量壓力 | 0.5 | MPa |
工作溫度 | -5~+45 | oC |
存儲(chǔ)溫度 | -20~+55 | oC |
工作濕度 | <95%RH(無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露) |
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機(jī)械接口 | M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭(配轉(zhuǎn)接模塊) |
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校準(zhǔn)方式 | 空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa |
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重量 | 15 | g |