系統(tǒng)構(gòu)成
本系統(tǒng)主要由以下部分組成：
兩組份動(dòng)態(tài)配氣系統(tǒng)
計(jì)算機(jī)與操作軟件（也可以用觸摸屏，那就不需要配計(jì)算機(jī)和軟件部分）
系統(tǒng)各部分組成如下：
兩組份動(dòng)態(tài)配氣系統(tǒng)
該系統(tǒng)運(yùn)用目前上*的測(cè)量和控制技術(shù)，設(shè)備穩(wěn)定可靠，配制精度高。全自動(dòng)化控制，操作簡(jiǎn)單可靠。設(shè)備集成在一個(gè)機(jī)箱內(nèi)。外觀簡(jiǎn)潔，美觀。主要設(shè)備包括：質(zhì)量流量控制器，單向閥，截止閥，氣體混合管路等。由于存在甲烷，乙烷，乙烯，乙炔等易燃易爆危險(xiǎn)性介質(zhì)。配氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)氣路和電路控制部分分開(kāi)安裝，同時(shí)在可能存在可燃性氣體泄漏的地方安裝風(fēng)扇，通過(guò)風(fēng)扇保證空氣流通，防止可燃?xì)饩奂?。保證系統(tǒng)和人員的安全。
系統(tǒng)設(shè)計(jì)為兩組份配氣方式，其中一路為稀釋氣，其他一路為源氣，氣源采用標(biāo)準(zhǔn)瓶氣。
該系統(tǒng)配置2個(gè)美國(guó)*質(zhì)量流量控制器，可實(shí)現(xiàn)2個(gè)組份氣體混合配比。
系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)有多達(dá)四五十種氣體，使用時(shí)通過(guò)計(jì)算機(jī)直接調(diào)取選擇。
混合氣體大流量：≈ 2 L/min。
配氣通道：2路
主要技術(shù)參數(shù)
1.氣體質(zhì)量流量控制器（美國(guó)MFC）
1）Range1：0～2000ml/min
Range2：0～500ml/min
2)精確度：±1%
3)密封：Viton(耐高溫氟素橡膠)
4)響應(yīng)時(shí)間：1…2seconds
5)重復(fù)性：< ±0.2% Rd
6)量程比：1:50（數(shù)字模式為：1:187.5）
7)泄漏率: tested < 2 x 10-9 mbar l/s He
8)電源：＋15…24VDC@320mA
9)使用溫度：-10…70 ℃
10)壓力靈敏度：0,1% Rd/bar typical N2; 0,01% Rd/bar typical H2
11)溫度靈敏度：Zero：<0.05% Rd /℃; Span：<0.05%Rd/℃
12)輸出：4…20mA and RS-232
2.氣路
整個(gè)系統(tǒng)氣路均采用防腐防吸附的內(nèi)表面拋光處理聚四氟乙烯管
3.轉(zhuǎn)子流量計(jì)
方便使用,配制出來(lái)多余的氣體可以通過(guò)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)子流量計(jì)直接排出
4.計(jì)算機(jī)及系統(tǒng)軟件
1)配氣系統(tǒng)通過(guò)觸摸屏操作。
2)兩組份配氣軟件
配氣系統(tǒng)根據(jù)要求，可以設(shè)置鋼瓶和對(duì)應(yīng)的端口。并可以通過(guò)流量模式和濃度模式配氣。通過(guò)軟件自動(dòng)計(jì)算，氣體質(zhì)量流量控制器自動(dòng)調(diào)節(jié)控制氣體流量，以實(shí)現(xiàn)氣體配比濃度要求。
