東莞市普諾克真空科技有限公司多年*真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)、改造、安裝經(jīng)驗(yàn)。為客戶量身打造高品質(zhì)的真空系統(tǒng)，普諾克電子行業(yè)*真空系統(tǒng)
*真空系統(tǒng)（*真空站）參數(shù)：
型號：PNK VS 600-200
抽速：200m3/h
極限壓力：0.1（15）mbar
緩沖罐體：600L
電機(jī)功率：4.3Kw
尺寸：1650×700×1500mm
真空抽氣接口尺寸數(shù)量：12×6
真空系統(tǒng)的工作原理
啟動系統(tǒng)主真空泵組開始工作，直到真空罐內(nèi)真空度達(dá)到設(shè)定的上限值，真空泵自動停止運(yùn)行，*真空系統(tǒng)內(nèi)的真空由管路上的真空止回閥自動截止而得到維持。如因工作需求真空罐內(nèi)真空度下降并低于設(shè)定的下限值時，備用真空泵組自動啟動。由此循環(huán)往復(fù)，真空系統(tǒng)的真空度能夠維持穩(wěn)定的真空源，滿足生產(chǎn)的要求。
*真空站特點(diǎn)：
1、真空站的真空上、下限值，可通過真空表設(shè)定在0~-0.1Mpa之間，誤差值在±10%。
2、真空站用儲氣罐根據(jù)用戶要求制造，一般在0.1~3m3之間。真空站啟動后，真空罐內(nèi)真空度始終保持在設(shè)定的上、下限值之間。
3、配置真空泵采用品牌真空泵，可根據(jù)用氣量相應(yīng)配置型號。
4、控制方式：
A、單泵自動、手動控制。
B、雙泵一開一備用或雙泵分開單泵定時自動循環(huán)運(yùn)行控制，或雙泵同時聯(lián)動運(yùn)行自動控制。
5、真空負(fù)壓站每臺泵均配置帶充氣電磁止回閥一套，防止真空回油故障。
6、特殊行業(yè)可根據(jù)客戶要求設(shè)計(jì)金屬或粉塵過濾器，有效地保護(hù)真空獲得設(shè)備。
電子行業(yè)*真空系統(tǒng)密封形式的選擇
密封形式可根據(jù)所需真空度的高低及實(shí)際工作需要選擇密封形式，對于人工晶體生長設(shè)備，一般需要的真空度在lO-3Pa以下，因此，無需采用金屬密封。以TDR--70型單晶爐為例，我們選擇磁性流體密封作為旋轉(zhuǎn)動密封，選擇高精度大伸縮量的焊接波紋管進(jìn)行移動密封，小直徑軸的旋轉(zhuǎn)密封選用“O”型密封圈或威爾遜密封，各種靜密封則采用“0”型密封圈密封形式，直徑壓縮比為25％。
密封件材質(zhì)的選用：真空度在lO-3Pa以下的真空系統(tǒng)，密封材料一般選擇橡膠密封圈即可滿足要求。但是，考慮到實(shí)際工作條件的需要(真空室內(nèi)溫度高可達(dá)2300℃，密封部位進(jìn)行水冷后，其溫度在80℃左右，個別處溫度可達(dá)100℃以上)。所以，要選擇比較理想的密封圈材料。
用于真空密封橡膠材料，除要求具有光潔表面、無劃傷、無裂紋外，還要求有低的滲透率和出氣率，良好的耐熱性耐油性，同時要有一定的強(qiáng)度、硬度和彈性等。
3.靜密封結(jié)構(gòu)的選擇
各種真空系統(tǒng)中，80%以上的密封為靜密封，靜密封效果的好壞，對系統(tǒng)的真空度及漏氣率有很大的影響。因此，要對靜密封結(jié)構(gòu)進(jìn)行認(rèn)真設(shè)計(jì)，以達(dá)到理想的效果。
對靜密封結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，主要考慮如何選擇主要密封面、如何減小殘留氣體及如何充分發(fā)揮橡膠密封圈功能。
無論是矩形密封槽、燕尾型密封槽還是梯形密封槽，其槽底較小的粗糙度容易獲得為主要密封面，而其側(cè)面則較小的粗糙度往往不易獲得。同時，為了消除殘留氣體，在存在殘留氣體處設(shè)計(jì)了貫通孔，使系統(tǒng)內(nèi)部各處暢通無阻。
