儀器簡介】
掃描電鏡-能譜分析儀是掃描電子顯微鏡和能譜儀聯(lián)用的組合。主要應(yīng)用在Ø固體樣品表面微區(qū)形貌觀察;材料斷口形貌及其內(nèi)部結(jié)構(gòu)分析;微粒或纖維形狀觀察及其尺寸分析;固體樣品表面微區(qū)成分的定性和半定量分析。
【儀器名稱】掃描電鏡-能譜分析儀
【型號電鏡】JSM-6360LV、能譜儀:Falcon
【生產(chǎn)廠家】日本電子公司、美國EDAX公司
【主要技術(shù)指標(biāo)】掃描電鏡:放大倍數(shù):×5~×100000;加速電壓:5~30KV;分辨率:高真空模式3.0nm;低真空模式4.0nm。
【能譜儀】分辨率:優(yōu)于132ev,可測元素范圍4Be-92U
【功能/應(yīng)用范圍】二次電子圖像、背散射電子圖像、EDS/微區(qū)形貌、結(jié)構(gòu)、顆粒大小、微區(qū)成分分析。
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