針對(duì)晶圓產(chǎn)品的無(wú)氧烤箱AO-2DS FC 衡鵬代理
AMSEMI無(wú)氧烤箱AO-2DS FC特點(diǎn):
無(wú)氧烤箱AO-2DS FC針對(duì)晶圓產(chǎn)品的連續(xù)烘烤,滿足測(cè)試要求和老化驗(yàn)證需求。同時(shí)采用快速風(fēng)冷設(shè)計(jì)模塊,縮短整個(gè)工藝時(shí)間。烘烤放置于12英寸和8英寸金屬料盒中的晶圓片。
AMSEMI AO-2DS FC無(wú)氧烤箱規(guī)格參數(shù)
·電源 AC380V,三相, 50Hz;
·內(nèi)膽尺寸 W600*D500*H610 mm (雙工作腔)
·外部尺寸 W1280xD790xH1720 mm
·功率 18Kw
注:客戶12英寸料架尺寸:W368xL310xH217mm. 2個(gè)/腔,上下各一個(gè)擺放;
客戶8英寸料架尺寸:W216xL217xH247mm. 4個(gè)/腔,上二下二擺放;
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