英富康Transpector XPR3L 氣體分析系統(tǒng)-在線氣體分析儀|在線氣體檢測(cè)儀-儀表網(wǎng)

杭州太昊科技有限公司，

是INFICON的*代理商，同時(shí)代理經(jīng)銷德國(guó)Leybold（萊寶）、Atlas Copco（阿*.科普柯）、Varian/Agilent（瓦里安/安捷倫）、瑞士Vogtlin（福特林）等品牌產(chǎn)品。我們致力于*真空技術(shù)的推廣、應(yīng)用，從中低真空、高真空、到超高真空，我們可以根據(jù)客戶的要求**合適的真空產(chǎn)品，提供*上等的真空解決方案，為廣大用戶改進(jìn)生產(chǎn)工藝，提升競(jìng)爭(zhēng)力提供產(chǎn)品服務(wù)和技術(shù)支持。同時(shí)為滿足更廣大的客戶要求，我們拓展了工業(yè)流量控制的產(chǎn)品服務(wù)，根據(jù)客戶的工藝要求提供*優(yōu)化的流量控制解決方案。

目前，公司主要提供的業(yè)務(wù)有：

一、代理品牌的產(chǎn)品銷售，及技術(shù)支持服務(wù)。

二、為客戶提供上等的真空解決方案，包括：真空非標(biāo)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、真空檢漏技術(shù)方案、真空設(shè)備維修服務(wù)；

三、流量控制解決方案：氣體、液體、特殊物質(zhì)流量控制方案；

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)	加工定制	是

英富康Transpector XPR3L 氣體分析系統(tǒng)
用于監(jiān)控過(guò)程氣體和基本真空條件的工具是 Transpector ® XPR3L 氣體分析系統(tǒng)提供的經(jīng)濟(jì)高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 過(guò)程監(jiān)控解決方案可以實(shí)時(shí)提供有關(guān)過(guò)程氣體壓力、氣體比率、污染級(jí)別、雜質(zhì)和泄漏情況的信息。此信息可用于*大限度提高過(guò)程良率和產(chǎn)品質(zhì)量。XPR3L 提供的本底監(jiān)控解決方案可以通過(guò)快速檢測(cè)和診斷泄漏及污染

英富康Transpector XPR3L 氣體分析系統(tǒng)-在線氣體分析儀|在線氣體檢測(cè)儀產(chǎn)品詳情

英富康Transpector XPR3L 氣體分析系統(tǒng)用于監(jiān)控過(guò)程氣體和基本真空條件的工具是 Transpector ® XPR3L 氣體分析系統(tǒng)提供的經(jīng)濟(jì)高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 過(guò)程監(jiān)控解決方案可以實(shí)時(shí)提供有關(guān)過(guò)程氣體壓力、氣體比率、污染級(jí)別、雜質(zhì)和泄漏情況的信息。此信息可用于*大限度提高過(guò)程良率和產(chǎn)品質(zhì)量。XPR3L 提供的本底監(jiān)控解決方案可以通過(guò)快速檢測(cè)和診斷泄漏及污染，提高預(yù)防性維護(hù)程序的有效性和效率。

功能英富康Transpector XPR3L 氣體分析系統(tǒng)

通過(guò)運(yùn)行高達(dá) 10mTorr（可選 20mTorr）的 UHV，提供經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的雙用功能、過(guò)程監(jiān)控和基本真空保證
經(jīng)濟(jì)高效的過(guò)程監(jiān)控器，可用于可擴(kuò)展的生產(chǎn)設(shè)計(jì)
通過(guò)持續(xù)自動(dòng)監(jiān)控過(guò)程氣體壓力、氣體比率和可能存在的污染或雜質(zhì)，提高過(guò)程良率，減少碎片，提高產(chǎn)品質(zhì)量
通過(guò)以高靈敏度和*小可檢分壓強(qiáng)驗(yàn)證基本真空條件、查找泄漏以及鑒別污染，加快 PM 恢復(fù)，提高生產(chǎn)力
可在 1 - 100 amu 質(zhì)量范圍內(nèi)運(yùn)行，能夠檢測(cè)各種材料、污染或副產(chǎn)品，確保您的投資安全，降低投資風(fēng)險(xiǎn)
與 FabGuard 監(jiān)控和分析系統(tǒng)相兼容，提供可靠、*的診斷和過(guò)程控制

典型應(yīng)用

太陽(yáng)能/光伏設(shè)備制造
LCD 制造
PVD 過(guò)程監(jiān)控
監(jiān)控過(guò)程氣體壓力和氣體比率
暴露和鑒別污染
檢測(cè)和查找泄漏（空氣、氦氣、水及其他蒸汽）
PM 恢復(fù)/故障排除和驗(yàn)證基本真空

關(guān)鍵詞：過(guò)程控制

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