Sα-2HM-CF迷你型精密標準流量氣體減壓器,緊湊設計,體積小重量輕;雙級膜片式設計;中等壓力輸入,低壓恒定流量輸出,輸出壓力穩(wěn)定;適用于標準氣體、高純氣體、低濃度(≤1%)腐蝕性氣體等。恒定流量輸出。
工作條件:
進口壓力 | 15MPa |
出口壓力 | 0~0.3MPa |
CV值 | 0.015 |
爆破壓力 | 30MPa |
溫度 | -10~+70℃ |
外漏率 | ≤1×10-9Pa.M3/Sec.He(選項) |
安裝方式 | 前面板安裝 |
產品特點:
雙級式減壓,死體積小,便于吹掃
適用于低腐蝕性標準氣體、高純氣體等
*的膜片設計,保持恒定的流量輸出
內置精密過濾器,保證氣體潔凈
超純水清洗
主要部件材料:
零部件名稱 | Part | 材料(Materials) |
閥體 | Body | SUS316L |
閥針 | Poppet | SUS316L |
膜片 | Diaphragm | SUS316L |
閥座 | Seat Retainer | SUS316L |
密封墊 | Seat | PTFE、PCTFE |