加熱區(qū)參數(shù)：

 爐管尺寸：Φ 50×700mm

 加熱元件：硅碳棒

 加熱區(qū)長度：160mm
 恒溫區(qū)長度：50mm
 工作溫度：1400℃
 溫度：1500℃
 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能
 控溫精度：±1℃

 推薦升溫速度：1400℃以下≤10℃/min，1400℃以上≤5℃/min
 工作電源：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

 額定功率：2.5KW

 外型尺寸： 420×295×520 mm

 密封系統(tǒng)：爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭（包括精密針閥，指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭），端口可按實際使用擴展。

 標準配件：剛玉管1根，不銹鋼密封法蘭1套，氟膠密封圈2套，氧化鋁管堵4只，高溫手套1副，坩堝鉤1支，小保險1個。

 備注：可選配1200℃、1400℃、1600℃、1700℃等不同溫區(qū)的管式爐。

氣路系統(tǒng)參數(shù)：

 質(zhì)量流量計參考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可選）

 準確度：±1.5%

 線性：±0.5～1.5%

 重復精度：±0.2%

 響應時間：≤10sec

 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

 壓力：3MPa

 接口：Φ6,1/4''

 顯示：4位數(shù)字顯示

 工作環(huán)境溫度：5~45高純氣體             

 內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6

 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

 截止閥：Φ6

 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。

 備注：可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計。

低真空系統(tǒng)參數(shù)：

 抽速：10m³/h

 極限真空度：5*10^-1pa

 電源：220V 50HZ

 電機功率：0.4kw  

 進排氣連接口：KF25

 用油量：1.1L

 電機轉(zhuǎn)速：1440rpm

 工作環(huán)境溫度：5-40℃

 噪音：≤56db

 電阻真空計參數(shù)：

 1.配用規(guī)管：電阻規(guī)，

 2.測量范圍： 10⁵～10^-1Pa，

 3.測量路數(shù)： 1路

 4.控制范圍： 5×10³～5×10^-1Pa，

 5.控制方式：繼電器觸點輸出，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載，

 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

 7.功耗： 20W