范圍為0~0.5 SCCM 0~3000 SLM
<10ms Response Time—Field Adjustable
130+ Gas Calibrations with Every Unit: Air, Ar, CH4、CO, CO2、H2、He、N2、 N2O、氖、O2、丙烷、丁烷、乙炔、乙烯等
同時(shí)顯示壓力、溫度和體積及質(zhì)量流量
無需預(yù)熱時(shí)間
包括NIST 5點(diǎn)證書
無需布設(shè)直管
含
FMA-1600A系列質(zhì)量與體積 流量計(jì)在層流場中 使用差壓原理 來檢測質(zhì)量 流量。流量計(jì)中的 層流元件(LFD)迫使氣體 進(jìn)入層流狀態(tài) （經(jīng)過整流處理）。 按照泊肅葉方程， 在這一區(qū)域體 積流量與 沿LFE的固定距離的 壓降呈線性 關(guān)系。 同時(shí) 結(jié)合氣體的 粘度準(zhǔn)確判定 體積流量。 引入單獨(dú)的 溫度和 壓力傳感器，并根據(jù)一系列 標(biāo)準(zhǔn)條件 修正氣體流量。 這種 標(biāo)準(zhǔn)化流量通常稱為 質(zhì)量流量，使用 標(biāo)準(zhǔn)立方英尺/分鐘(SCFM)或 標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘(SLM)等 單位表示。
標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備包括0 ~ 5 V 輸出（可選4~20 mA）和 RS232通信。 可從前端鍵盤或RS232 通信調(diào)整 氣體 選擇功能。 體積流量、 質(zhì)量流量、或壓力以及 溫度均可通過RS232連接 查看或記錄。 在距離為125’ 的同一串口連接上，同時(shí)多可與26臺設(shè)備進(jìn)行多點(diǎn)通信。 以上流量計(jì) 還提供便攜式版本， 以便在野外使用（-B型號）。
