ICP單道掃描光譜儀輸出功率自動匹配調(diào)諧,功率參數(shù)軟件程序設(shè)定.分光器內(nèi)充氬氣,使波長在180nm的硫和189nm的Sn得到很靈敏的效果
ICP單道掃描光譜儀技術(shù)指標(biāo)
1.射頻發(fā)生器(RF)
(1) 電路類型:自激振蕩電路,全自動點火,所有功能實現(xiàn)電腦軟件控制(點火、熄火、功率等參數(shù)設(shè)置);實時功率控制;自動匹配調(diào)諧;光室恒溫;
(2) 工作頻率:40.68MHZ±0.05%
(3) 頻率穩(wěn)定性:<0.1%
(4) 輸出功率:700-1600w
(5) 輸出功率穩(wěn)定性:≤0.3%
(6) 電磁場泄漏輻射強(qiáng)度:距機(jī)身300mm 電場強(qiáng)度E:<2V/m
2.進(jìn)樣裝置:
(1) 輸出工作線圈內(nèi)徑25mm,3匝
(2) 炬管:外徑20mm的石英炬管
(3) 同軸型噴霧器外徑6mm
(4) 雙筒形霧室外徑35mm
(5) 氬氣流量計規(guī)格和載氣壓力表規(guī)格:
①、 等離子體流量計(100-1000)L/h ;(1.6-16L/min)
②、 輔助氣流量計(6-60)L/h ;(0.1-1L/min)
③、 載氣流量計(6-60)L/h ;(0.1-1L/min)
④、 載氣穩(wěn)壓閥(0-0.4MPa)
儀器內(nèi)設(shè)氬氣二次穩(wěn)壓閥(0.3MPa)
3.測光裝置:
(1) 光電倍增管規(guī)格: R212UH
(2) 光電倍增管負(fù)高壓:200-1000V ,穩(wěn)定性<0.05%
(3) 光電倍增管電流測量范圍:10-12 -10-4A
(4) 信號采集為V/F交換:1mV對應(yīng)100Hz