日本HORIBA氣體質(zhì)量流量控制器以魅力、價(jià)格實(shí)現(xiàn)從微小流量到大流量的控制；
高速響應(yīng)，1秒內(nèi)達(dá)到流量設(shè)定值。搭載了新設(shè)計(jì)的控制回路和高速應(yīng)對(duì)的流量感應(yīng)器，根據(jù)所接收到的電力信號(hào)，流量的初期安定性比較好，通過流量變化的實(shí)施程序使得能一直保持安定的流量進(jìn)行測(cè)控。（大流量對(duì)應(yīng)型號(hào)：SEC-E80在2秒內(nèi)應(yīng)對(duì)）
高精度，±1.0％F.S
高信賴性，具備自動(dòng)調(diào)零功能
日本HORIBA氣體質(zhì)量流量控制器可進(jìn)行準(zhǔn)確的質(zhì)量流量控制；所謂質(zhì)量流量控制器，是計(jì)測(cè)質(zhì)量流量，可根據(jù)所接收的電力信號(hào)，自動(dòng)的進(jìn)行任意流量的一種控制器。因此，即使使用環(huán)境（如溫度、壓力）發(fā)生變化變化，也不必進(jìn)行修正，就能準(zhǔn)確的進(jìn)行質(zhì)量流量控制。
采用自動(dòng)流量功能閥門；流量控制閥門由于是采用自動(dòng)流量功能功能控制型，當(dāng)本體電源無供給時(shí)，閥門將自動(dòng)調(diào)整為關(guān)閉狀態(tài)。停電時(shí)也可以將流量控制在小限度內(nèi)。

工作原理：
1、入口處進(jìn)來的氣體被分流到流量感應(yīng)器和旁路處。
2、通過感應(yīng)器得到按質(zhì)量流量比例形成的溫度變化信息，在回路中交換成電力信號(hào)。
3、該信號(hào)通過增幅回路、修正回路、以0-5V的線性電力信號(hào)向外部輸出，另一方面又輸入至比較控制回路中。
4、外部得到的設(shè)定信號(hào)和從感應(yīng)器處得到的流量信號(hào)在比較回路中形成差異信號(hào)，再輸送至下一個(gè)的閥門驅(qū)動(dòng)回路中。
5、流量控制閥門盡可能使該差異信號(hào)將為“0”，使流量一直控制在設(shè)定流量。

• 規(guī)格

  SEC- (質(zhì)量流量控制器)	E60
  適用氣體種類*1	N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10
  氣體接觸部材質(zhì)	SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼
  閥門型號(hào)	非通電時(shí) 關(guān)閉
  標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)	50/100 SLM
  流量控制范圍 (適于SEC系列)	5- F.S.
  流量測(cè)量范圍 (適于SEF系列)	0- F.S.
  響應(yīng)速度	1秒以內(nèi)(T98)
  流量精度	±1% F.S.
  直線性	±0.5% F.S.
  反復(fù)性	±0.5% F.S.
  工作差壓值值(適于SEC系列)	100-300kPa(d)
  使用壓力 (適于SEF系列)	350kPa(G)以下
  耐 壓	1MPa(G)以下
  外部泄漏率	1×10-7Pa?m3/s(He)以下
  使用環(huán)境溫度	5-45℃(精度的確保：15-35℃)
  流量設(shè)定信號(hào)	0.25-5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5- F.S.
  流量輸出信號(hào)	0-5VDC(小負(fù)荷電阻2kΩ)
  驅(qū)動(dòng)電源	＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
  標(biāo)準(zhǔn)接頭*2	3/8SWL 類型

• 技術(shù)規(guī)格

  *1:關(guān)于記載以外的氣體種類，請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。
  *2也可以適用標(biāo)準(zhǔn)接頭以外的接頭。請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。
  ※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動(dòng)清零功能。
  ※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：大值300kPa(G)；SEC-70/80：大值350kPa(G)以下。
  ※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號(hào)。