分子束外延沉積速率監(jiān)測(cè)/控制系統(tǒng)
適于精確的MBE分析,其他氣體分析和科學(xué)實(shí)驗(yàn)使用。
XBS 的高靈敏度和數(shù)據(jù)的快速采集,能夠提供生長(zhǎng)速度低至0.01 Å/s的質(zhì)譜信號(hào)。
·交叉離子源,束接收角同軸的橫斷面呈±35°
·離子源控制,用于軟離子化和表觀電勢(shì)質(zhì)譜
·2mm束接受孔,以利特殊使用者操作
·一級(jí)過(guò)濾處增加射頻,抗污染物能力增強(qiáng)
分子束外延沉積速率監(jiān)測(cè)/控制系統(tǒng)
適于精確的MBE分析,其他氣體分析和科學(xué)實(shí)驗(yàn)使用。
XBS 的高靈敏度和數(shù)據(jù)的快速采集,能夠提供生長(zhǎng)速度低至0.01 Å/s的質(zhì)譜信號(hào)。
·交叉離子源,束接收角同軸的橫斷面呈±35°
·離子源控制,用于軟離子化和表觀電勢(shì)質(zhì)譜
·2mm束接受孔,以利特殊使用者操作
·一級(jí)過(guò)濾處增加射頻,抗污染物能力增強(qiáng)
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