性能規(guī)格
厚度范圍, : 50 nm - 10 mm
厚度范圍, : 0 - 3 μm
重復(fù)性, : 1.0 nm
重復(fù)性, : 0.1 nm
臺(tái)階高度 準(zhǔn)確性1: 0.7%
臺(tái)階高度 重復(fù)性2: 0.1%
樣品反射率范圍: 0.05% -
ISO 25178 兼容: 是
機(jī)械規(guī)格
Z 范圍: 100 mm
(壓電)范圍: 500 μm
垂直掃描速度: 12 μm/sec
XY 平臺(tái)類型: 自動(dòng)
XY 平臺(tái)范圍: 100 mm x 100 mm
t平臺(tái): +/- 5°, 手動(dòng)
相機(jī): 2592 x 1944 (5 百萬像素)
相機(jī)變焦 3: 1X, 2X, 4X
系統(tǒng)尺寸,寬x深x高: 300 mm x 300 mm x 550 mm
系統(tǒng)重量: 15 公斤
三維光學(xué)輪廓儀由北京哈科研發(fā)生產(chǎn),可用于眼科鏡片、科研、高亮度LED、半導(dǎo)體器件、TSV、太陽能電池片、汽車零部件、觸摸屏和精密加工零件等各行業(yè),為用戶提供快速、準(zhǔn)確地三維非接觸式測(cè)量。