E01.Cap 電容式測微儀是毫米級測量范圍、納米級測量精度的儀器。測微儀包括電感測微儀、電容測微儀、激光測微儀三種類型，主要用于高精度測量長度、厚度、深度、錐度等應用。
原理
它基于一個理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目 標形成的兩個電極，采用保護環(huán)電容器原理，用于測量任何金屬 時，傳感器仍是線性的。
E01.Cap 電容式測微儀技術(shù)參數(shù)
型號 | E09.Cap | 單位 |
量程范圍 | 0~200 | μm |
線性度 | ±0.1 | μm |
靜態(tài)分辨率 | 2.5 | nm |
動態(tài)分辨率（1kHz） | 100 | nm |
傳感器直徑 | 10 | mm |
小目標直徑 | 10 | mm |
靜態(tài)重復性 | 5 | nm |
信號溫度穩(wěn)定性 | ＜ 0.005 | %FSO/℃ |
長期穩(wěn)定性 | ＜ 0.04 | %FSO/ 月 |
帶寬 | 2 | kHz（-3dB） |
工作溫度范圍 | +10~+50 | ℃ |
環(huán)境濕度 | <85 | % |
電壓輸出范圍 | 0~+10 | V |
供電電壓 | 220VAC 50Hz±10% | |
傳感器線長 | 1.6 | m |
板卡尺寸：長×高× 深 | 35×130×180 | mm |
機箱尺寸：長×高× 深 | 280×170×360 | mm |
特性：
• 模塊化設計、自由組拼
• 可提供單個板卡模塊
• 高分辨率 • 模擬輸出
• 非接觸式測量
應用：
• Z向水準測量 • X, Y向定位
• 軸向振動測量
• 熱膨脹測量 • 位移臺傳感器
