電子工業(yè)超純水設備應用技術
在工藝設計上,自來水標準的水為源水,再設有介質(zhì)過濾器,活性炭過濾器,精密過濾器等預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混合床等。
1、介質(zhì)過濾器主要作用是去除原水中的懸浮物質(zhì)及機械雜質(zhì)設備由優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制作而成。體內(nèi)裝有布水帽、精制石英砂等。合理的石英砂裝填比例及良好的布水系統(tǒng),使系統(tǒng)的產(chǎn)水水質(zhì)更加穩(wěn)定。另外設備還設有氣體沖刷功能,能限度地清除介質(zhì)上及床層中的污垢,提高出水水質(zhì)和延長工作周期。
2、活性炭過濾器具有除臭、去色、除油、吸附有機物雜質(zhì)等作用,能去除水中的游離余氯,保證反滲透膜的進水水質(zhì),設備由優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制成。
3、RO主機系統(tǒng)引進上*的反滲透技術,利用壓力差原理,能有效地去除水中的鹽。
4、混合采用離子交換技術,內(nèi)裝陰、陽樹脂,合理的樹脂層高度能有效地保證出水水質(zhì)滿足用戶要求。
五、電子工業(yè)制備超純水的工藝
1、采用離子交換樹脂制備電子工業(yè)超純水的傳統(tǒng)水處理方式,其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業(yè)超純水的方式,其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。
3、采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配制備電子工業(yè)超純水的方式,這是一種制取超純水的工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟,發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?,其基本工藝流程為:原?rarr;多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。
六、電子工業(yè)用超純水處理設備應用領域
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水。
2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水。
3、實驗室和中試車間用超純水。
4、汽車、家電表面拋光處理。
5、光電子產(chǎn)品。