BROOKS MFC 氣體質(zhì)量流量計
ODEL型號：SLA5850S
GAS氣體：N2
FLOW RANGE流量:5SLM
INPUT PRESSURE進口壓力:：0.4Mpa
OUTPUT PRESSURE出口壓力：0.1Mpa
O-RING SEAL 密封:：Viton
FITTING氣路接頭:：1/4“SWG
OUTPUT 信號輸出:15-24V
BROOKS SLA5850S型流量控制器能精確的測量和控制氣體流量。其核心是一個可拆卸的測量氣體流量的探頭，該探頭產(chǎn)生跟流量成線性比例的電輸出信號用來顯示、記錄和/或控制。該裝置不需要氣體壓力進行連續(xù)的監(jiān)測和重新調(diào)整就可以提供穩(wěn)定的氣體流量。
設(shè)計特性：
·易維護
·快速響應(yīng)設(shè)定變化
·可忽略過沖/下沖影響
·可拆除傳感器
·對安裝方位不要求
·較大的流量控制范圍（大可達30 sl/min N2）
·外置零點和量程調(diào)節(jié)電位器
·跳線可設(shè)定軟啟動
·可設(shè)定外部電磁閥控制
·不要求中止流量
·常閉閥（可選常開閥）
·可兼容其他流量控制器
·抗腐蝕
操作原理
BROOKS流量控制器運用熱動力學(xué)原理，一個有精確電源的加熱器為內(nèi)有連續(xù)穩(wěn)定氣流的
傳感器套管的中部加熱，在同一套管距加熱器等距的地方各有一個電阻性的溫度測量元件。
沒有氣流時，到達兩個溫度測量元件的熱量是相等的：有氣流時則氣流帶走熱量，兩溫度
測量元件就有了溫度差異，溫度差異的大小和流量的大小成正比。該溫度差異通過橋式電
路來反映，然后放大裝置，以0－5V的輸出電壓輸出到控制電路。
◎在無流量的情況下，熱量會均勻的分散在每個溫度元件中，隨著流量的增加，流體帶著
熱量從上游（該處溫度為T1）到達下游，則下游溫度上升（該處溫度為T2），不同的溫
度上升通過兩處元件顯示，這種差異均衡的計量了氣流或流速，電路顯示溫度的不同而
放大器提供輸出量給控制電路也就是0.5伏的輸出信號?？刂齐娐繁容^設(shè)定要求值和輸出流量信號，然后控制精確電磁閥。當(dāng)設(shè)定值低于2％時，控制閥*關(guān)閉，控制閥由它的控制
電路控制能*打開或關(guān)閉?！?/span>
控制電路比較設(shè)定要求值和輸出流量信號，然后控制精確電磁閥。當(dāng)設(shè)定值低于2％時，
控制閥*關(guān)閉，控制閥由它的控制電路控制能*打開或關(guān)閉。
!警告
請勿在超過如下規(guī)格書說明范疇外操作本儀器，忽視此警告可能造成一系列對該儀器的
損壞或損傷。
流量范圍
相當(dāng)于0－3 sccm到0－3000 sccm氮氣（N2）的范圍
在SEMI（半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會）標準壓力和溫度（0oC和101kPa）條件下測得
注：滿程流量范圍大于50 sccm
性能：校準后為滿量程±1％，大于20slpm時為滿量程±1.5％。
可重復(fù)性：0.25％
控制范圍：50：1
安裝狀態(tài)靈感度：復(fù)零后，比精確度誤差不到±0.5％量程。
溫度敏感度：零點：小于±0.075％量程每攝氏度
量程：比初校準刻度小±1.0％量程（在10－50攝氏度）
壓力敏感度：±0.03％每psi到200psig(N2)
輸出電壓：0－5伏直流（200K歐姆的輸出電阻）
輸出信號：輸出0－5伏直流到2000歐姆或更高的負荷
輸出5±0.1伏直流（參考），大負荷2000歐姆
大操作壓力：1500psig ;5-50psid壓損（小壓損根據(jù)氣體和周圍環(huán)境具體而定）
溫度、外界/氣體：41－149oF（5－65oC）
*泄漏，外界：1×10-9cc/s
功率要求：常閉閥（或常開閥/流量≤2.5slpm）
3.5瓦特，直流15伏◎35mA,-15伏@180mA
常開閥/流量>2.5slpm
10.5瓦特，直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA
構(gòu)造材質(zhì)：
標準接液部分采用不銹鋼材質(zhì)，可供選擇的還有;Kalrez或Buna-N
連接：
硬件連接：標準9/16－18UNF不銹鋼壓力接頭(Swagelok)，可選：VCO或VCR
電氣連接：卡連接器（鍍金）或D型連接器（DA－15P）
· 數(shù)字信號/模擬信號輸出,可通過電腦直接顯示控制,可配單/四/八通道顯示控制器
· 介質(zhì):可選H2,O2等非腐蝕性氣體或SiO2,SO2等腐蝕性氣體
· 流量范圍:0.03-30slpm
· 量程比：50:1
· 大工作壓力: 1500psi(10.432Mpa)
· 氣路接頭: 1/4"VCR或1/4"SWG
· 電氣接頭:15 Pins D-Type或Card-edge
· 精度:±1%FS
· 重復(fù)性：0.25% of rate
· 響應(yīng)時間：1-3s
· 差壓要求：3-6bar（壓差要求與介質(zhì)、量程有關(guān)）
· 操作溫度范圍：5~65℃
· 輸出信號：0-5VDC或4-20mA
