美國(guó)BROOKS布魯克斯公司熱式質(zhì)量流量計(jì)是為了滿足有關(guān)工藝過(guò)程中對(duì)測(cè)量精度、重復(fù)性和控制方面的要求而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。它與傳統(tǒng)的體積流量?jī)x器截然不同,BROOKS質(zhì)量流量計(jì)通過(guò)被測(cè)氣體的比熱來(lái)測(cè)量流量,不受溫度、壓力變化的影響。因此該產(chǎn)品在各種不同的工作環(huán)境下均有較高的精度。被測(cè)流量可設(shè)計(jì)成質(zhì)量或體積單位。此外,所有BROOKS INSTRUMENT質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品都能同現(xiàn)有的工業(yè)儀表兼容,安裝簡(jiǎn)便。
常用型號(hào)有:5850E、5850I 、5851E,SLA5850S,SLA5851S,SLA5853S
其他型號(hào):
5861E質(zhì)量流量計(jì)
5863E質(zhì)量流量計(jì)
5853E質(zhì)量流量控制器
5965質(zhì)量流量控制器
5964質(zhì)量流量控制器
4860質(zhì)量流量計(jì)
4850質(zhì)量流量控制器
5863S質(zhì)量流量計(jì)
5861S質(zhì)量流量計(jì)
5860S質(zhì)量流量計(jì)
5853S質(zhì)量流量控制器
5851S質(zhì)量流量控制器
5850S質(zhì)量流量控制器
5850i質(zhì)量流量控制器
SLA7860質(zhì)量流量計(jì)
SLA7850質(zhì)量流量控制器
SLA7960質(zhì)量流量計(jì)
SLA7950質(zhì)量流量控制器
B950質(zhì)量流量控制器
SLAMF63質(zhì)量流量計(jì)
SLAMF61質(zhì)量流量計(jì)
SLAMF60質(zhì)量流量計(jì)
SLAMF53質(zhì)量流量控制器
SLAMF51質(zhì)量流量控制器
SLAMF50質(zhì)量流量控制器
SLA5863質(zhì)量流量計(jì)
SLA5861流量計(jì)
SLA5860流量計(jì)
SLA5853質(zhì)量流量控制器
SLA5851流量控制器
SLA5850質(zhì)量流量控制器
SLAMF60_防爆型數(shù)模橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)(30C51L)布魯克斯/Brooks氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)廣泛應(yīng)用于:真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺(tái)、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入,直拉式晶爐,精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲(chǔ)存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過(guò)程控制器、大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設(shè)備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。?數(shù)模橡膠密封;流量范圍:0.003-30 slpm;耐壓:100 Bar精度:±1.0% of rate(20%-**** FS);±0.2% FS(below 20% FS);±1.0% of FS(1100-2500 slpm)