氣路流量控制系統(tǒng)設(shè)備
•流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補償)。
•將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大,放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進行比較,再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
•分流器決定主通道的流量。
氣路流量控制系統(tǒng)設(shè)備
•與之配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)定電源,3位半數(shù)字電壓表,設(shè)定電位器,外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。
•控制器輸出的流量栓檢測電壓與流過通道的質(zhì)量成正比,滿量程(F.S)流量檢測輸出電+5V。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是(2~100)%F.S(程比為50:1)