KS-41B 液體粒子計(jì)數(shù)器從0.1μm測(cè)量SOG中的光致抗蝕劑溶液和顆粒,KS-41B 液體粒子計(jì)數(shù)器可連接多點(diǎn)監(jiān)控系統(tǒng)。
光學(xué)系統(tǒng)類型 | 側(cè)散射法 |
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光源 | 半導(dǎo)體激光泵浦固態(tài)激光器(波長(zhǎng)532 nm,額定輸出500 mW) |
接液部件材料 | 合成石英,PFA |
粒度部分 | (從0.07微米任選地通訊,如果透明的液體,例如純水)在0.1微米的范圍內(nèi)10個(gè)階段?0.5微米 工廠:0.1微米或更大,0.15微米或更大,0.2微米或更大,0.3微米或更大,0.5微米或更5個(gè)階段 |
額定流量 | 5毫升/分鐘 |
大粒子數(shù)濃度 | 9,600個(gè)細(xì)胞/ mL(計(jì)數(shù)損失在10%以內(nèi)) |
電源 | DC12V(KE-40B1提供) |
大小 | 約164(H)×464(W)×305(D)mm(不包括突起) |
重量 | 大約12.5千克 |