耐高壓型質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)MFC MFM產(chǎn)品介紹：本公司生產(chǎn)的耐高壓型質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)MFC MFM，為精度高、響應(yīng)快、穩(wěn)定性好、性?xún)r(jià)比高的自動(dòng)測(cè)控產(chǎn)品，其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度的影響，適用于過(guò)程控制中的氣體流量的精密測(cè)量和控制。產(chǎn)品系列完整，可選擇數(shù)字式、模擬式、普通型、高精度型、耐高壓型，超大流量型，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，可用于真空及高壓等特殊領(lǐng)域 產(chǎn)品特點(diǎn)：
耐高壓
精度高
可選模擬電路或數(shù)字電路
響應(yīng)速度快
產(chǎn)品用途：
廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。
耐高壓型氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號(hào) | LF420-F（模擬型） | LF485-F（數(shù)字型） |
滿量程范圍 | SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500 SLM 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
量程比 | 控制器50:1 | 流量計(jì)100:1 |
精度 | ±1.0%F.S | |
線性 | ±0.5%F.S | |
重復(fù)性 | ±0.2%F.S | |
閥門(mén)類(lèi)型 | 常閉閥 | |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤1S-3S | |
工作壓差 | 0.1...0.5Mpa | |
大耐壓 | 10MPa | |
工作環(huán)境溫度 | 5...45℃ | |
泄漏率 | 1×10-8Pa.m3/s | |
通信信號(hào) | 0-5V / 4-20MA / RS232-485 MODBUS協(xié)議 | |
供電方式 | 24VDC（250mA） | |
密封材料 | 丁晴橡膠 氟橡膠 | |
接頭尺寸 | 3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8” | |
電器接頭 | DB15針 | |
