儀器特點(diǎn):
稀釋氣質(zhì)量流量計(jì)可控制到0-10SLM;
源氣質(zhì)量流量計(jì)可控制到0-100SCCM;
4路校準(zhǔn)氣入口和1路吹掃口;
1路稀釋氣入口,5路輸出口和1路排空口;
55個(gè)按鍵薄膜鍵盤;
24位數(shù)字輸入/輸出,
2路串行通訊輸出,RS232輸出;
大而明亮的彩色顯示器;
外部PC鍵盤接入端口;
并行打印端口;
空氣源控制端口。
性能參數(shù):
稀釋入口:1路標(biāo)準(zhǔn);
源氣入口:4路標(biāo)準(zhǔn),1路吹掃;
稀釋流量:0-10SLM(0-20SLM可選);
源氣流量:0-100SCCM/0-10000SCCM;
流量精度:≤±1%FS;
流量重復(fù):≤±0.15%FS;
線 性:≤±0.5%FS;
入口壓力:20-35 PSIG;
內(nèi)置臭氧發(fā)生器參數(shù):
輸出:5SLPM下0.05-1.5ppm;
精度:1%SP或5SLPM下2ppb;
流量:100±1 SCCM;
紫外燈溫度:50±0.1℃。
內(nèi)置紫外吸收光度計(jì)參數(shù):
量程:0-0.5,1.0,2.0ppm;
線性:±1ppb或±1%FS;
精度:±1ppb;
零點(diǎn)漂移:<±1ppb/24小時(shí)或30天;
流速:1.0 LPM;
模擬輸出:0-0.1/1/5V。
內(nèi)置稀釋爐參數(shù):
材質(zhì):玻璃或特氟龍;
尺寸:1個(gè)稀釋管;
可調(diào)溫度:高于環(huán)境溫度5度到65度;
溫度精度:<±0.1℃;
操作:55個(gè)按鍵,鍵盤或串行端口;
校準(zhǔn)定義:20個(gè)工廠定義流路;
校準(zhǔn)類型:氣體稀釋,臭氧,GPT;
氣體定義:2個(gè)稀釋氣,20個(gè)源氣;
自動(dòng)校準(zhǔn):20個(gè)程序驅(qū)動(dòng)定時(shí),
7天事件,用戶可自定義;