高精度電容測(cè)微儀傳感器是利用電容原理測(cè)量工件尺寸微小變化的儀器。應(yīng)用學(xué)科：機(jī)械工程（一級(jí)學(xué)科），量具與量?jī)x（二級(jí)學(xué)科），量?jī)x（三級(jí)學(xué)科）
高精度電容測(cè)微儀傳感器應(yīng)用
1、旋轉(zhuǎn)軸的徑向跳動(dòng)，軸向竄動(dòng)和回轉(zhuǎn)精度；
2、往復(fù)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)特性和重復(fù)定位精度；
3、正弦波激振和脈激振中振動(dòng)測(cè)量；
4、機(jī)器零部件相對(duì)振動(dòng)相對(duì)變形；
5、盤類零件的端面振擺；
6、軸承.活塞間隙和油膜厚度；
7、檢測(cè)零部件尺寸和平直度；
8、線切割機(jī)床電極絲的振動(dòng)；
9、機(jī)床主軸熱位移與動(dòng)態(tài)加載試驗(yàn)測(cè)量；
10、檢測(cè)金屬板、帶的厚度
11、也可用于金屬導(dǎo)體之外的絕緣物體（如大理石、塑料、砂輪、玻璃、陶瓷等）的振動(dòng)、位移測(cè)量
特點(diǎn)：
①結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單；
②動(dòng)作時(shí)需要能量低，由于帶電極板間靜電吸引力很小，因此電容傳感器特別適宜用來(lái)解決輸入能量低的測(cè)量問(wèn)題；
③動(dòng)態(tài)特性好，電容傳感器的相對(duì)變化量只受線性和其它實(shí)際條件的限制，如果使用高線性電路時(shí)，電容變化量可達(dá)或更大；
④自然效應(yīng)小；
⑤動(dòng)態(tài)響應(yīng)快以及能在惡劣的環(huán)境下工作。但由于電容傳感器的初始電容較小，受引線電容、寄生電容的干擾影響較大；另一方面電容傳感器輸出特性為非線性。
主要性能指標(biāo)
1、直接顯示被測(cè)靜態(tài)位移值和振動(dòng)位移幅值
2、量程/分辨率:±3.000μm/0.001μm、±30.00μm/0.01μm、±300.0μm/0.1μm
3、測(cè)量頻率范圍：0—10KHZ
4、線性度：0.5%FSO
5、輸出信號(hào)：0—±5.100V 0—20mA
6、噪聲: < 3mV
6、漂移：0.1%FSO/h
7、工作溫度：放大器－10℃－+80℃ 傳感器探頭－20℃－+200℃
8、電源：~220V50Hz
9、體積：258mm×300mm×102mm
10、量程、初始間隙δ0與傳感器電極直徑d0 表1
| 量程（μm） | ±3.000 | ±30.00 | ±300.0 |
| δ0（mm） | 0.03 | 0.3 | 3 |
| d0（mm） | Φ1.35 | Φ3.1 | Φ9.0 |
