高等院校及研究所常用高溫真空坩堝爐分為常規(guī)和真空兩種。真空坩堝爐主要是由一套密封的腔體和真空系統(tǒng)以及其它組成。真空坩堝爐適用于煅燒真空或惰性氣體中的高純度化合物，退火或擴(kuò)散半導(dǎo)體晶片，也可用于烘燒或燒結(jié)陶瓷材料。中小型機(jī)件的散熱處理。具有爐溫均勻，溫控精度高，裝載料方便，操作簡(jiǎn)單易學(xué)，生產(chǎn)率高。
高等院校及研究所常用高溫真空坩堝爐膛大小根據(jù)物料大小設(shè)計(jì)定制。
真空爐由爐體、爐膽、真空系統(tǒng)、冷卻水系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及輔助設(shè)備組成。
爐體
爐體由加熱室爐殼、爐門(mén)和冷卻室爐殼、爐門(mén)組成。爐殼真空室內(nèi)接縫采用二保焊，并進(jìn)行去應(yīng)力處理，以保證真空性能。
爐殼
爐殼為圓形、雙層水冷碳鋼結(jié)構(gòu)，夾層內(nèi)通冷卻水。兩端與加工過(guò)的法蘭焊接。雙層水冷碳鋼結(jié)構(gòu)，兩端與加工過(guò)的法蘭焊接。
爐門(mén)
- 爐門(mén)為雙層水冷碳鋼結(jié)構(gòu)并帶經(jīng)加工過(guò)的法蘭。
- 爐門(mén)與爐殼鉸鏈連接，開(kāi)啟靈活。
- 爐門(mén)的鎖緊采用卡環(huán)鎖緊結(jié)構(gòu)。
- 在取放零件時(shí)，開(kāi)啟爐門(mén)，手動(dòng)將零件直接送入爐內(nèi)。
- 爐殼與爐門(mén)的密封采用真空密封圈。
連接接口
爐體提供了用于與其它系統(tǒng)連接的接口，如熱電偶、真空系統(tǒng)、水冷卻系統(tǒng)和爐溫均勻性測(cè)試接口和爐溫測(cè)試組件等。
爐膽
加熱元件
電阻絲爐頂和兩側(cè)加熱，多方向輻射確保加熱均勻。
隔熱材料
由多晶莫來(lái)石纖維組成。安裝在一個(gè)加熱區(qū)支撐結(jié)構(gòu)內(nèi)，保證*使用。
支撐件
保溫層外側(cè)用304不銹鋼全包裹，易于拆卸和安裝。
模塊化設(shè)計(jì)
加熱和保溫部分采用一體化設(shè)計(jì)，便于進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)。爐膽采用整體式結(jié)構(gòu)，設(shè)備維修時(shí)，可整體取出。
- 真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)傻瓜式操作，開(kāi)啟即可自動(dòng)自動(dòng)維持真空狀態(tài)。全自動(dòng)運(yùn)行的真空系統(tǒng)基本包括：
- 中真空泵系統(tǒng)：由機(jī)械泵組成；
- 連接管道、儀表及閥：主真空閥用法蘭安裝在爐殼的抽氣管道上，將泵與爐殼分離。管道的柔性連接可防止振動(dòng)傳遞。
