主要特點:
減薄角度可調(diào)由0º至90º
一體化設(shè)計,重復(fù)性實驗設(shè)備,可靠具操作性
全電腦控制,精確的參數(shù)調(diào)整,運行中無需人干涉
鞍式離子槍,高能量-快速蝕刻
制冷系統(tǒng),銅傳導(dǎo),確保TEM,SEM在低溫下操作
主機內(nèi)置2級泵,確保高真空
減少裝卸時間,高效率
操作簡便直觀,帶自保護防止離子溢出與過熱功能
法拉力環(huán)檢查樣品是否穿孔,自動終止功能
裝載閘保持系統(tǒng)高真空度穩(wěn)定不變
減薄過程中離子能量高低可調(diào)
內(nèi)置視頻監(jiān)視器,直接觀察樣品減薄情況
可編程,觸摸屏設(shè)計,直觀操作
主要特點:
減薄角度可調(diào)由0º至90º
一體化設(shè)計,重復(fù)性實驗設(shè)備,可靠具操作性
全電腦控制,精確的參數(shù)調(diào)整,運行中無需人干涉
鞍式離子槍,高能量-快速蝕刻
制冷系統(tǒng),銅傳導(dǎo),確保TEM,SEM在低溫下操作
主機內(nèi)置2級泵,確保高真空
減少裝卸時間,高效率
操作簡便直觀,帶自保護防止離子溢出與過熱功能
法拉力環(huán)檢查樣品是否穿孔,自動終止功能
裝載閘保持系統(tǒng)高真空度穩(wěn)定不變
減薄過程中離子能量高低可調(diào)
內(nèi)置視頻監(jiān)視器,直接觀察樣品減薄情況
可編程,觸摸屏設(shè)計,直觀操作