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CVD/PECVD系列管式電爐 電阻爐

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地天津市
  • 更新時間2022-10-01
  • 廠商性質生產廠家
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產品數量75
  • 人氣值3644
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我公司創(chuàng)立于1993年,經過了近20年的發(fā)展,公司已成為一家集研發(fā)、生產制造、營銷服務為一體的專業(yè)的實驗室電爐工作系統(tǒng)解決方案的提供者。作為專業(yè)實驗室電加熱設備的生產廠家,在實驗室電爐行業(yè)國內市場一直保持著*地位,并成為*品牌。真空氣氛管爐 旋轉電爐 立式管爐 快速退火爐 馬佛 我們的經營理念是:專業(yè)、誠信、負責、顧客*、銳意進取。我們的經營目標是:打造具有品牌的、專業(yè)為用戶提供實驗室電爐工作系統(tǒng)解決方案的百年企業(yè)公司主要產品:實驗用真空/氣氛電爐系列、主要面向國內高校實驗室以及*科研機構,各系列產品行銷國內的大專院校、科研院所、工礦企業(yè)的實驗室及各級檢測中心。真空氣氛管爐 旋轉電爐 立式管爐 快速退火爐 馬佛爐真空氣氛管爐 旋轉電爐 立式管爐 快速退火爐 馬佛爐真空氣氛管爐 旋轉電爐 立式管爐 快速退火爐 馬佛爐 我們的產品國內市場,同時也部分出口海外。國內眾多的個大院校、*科研院所、重點實驗室、醫(yī)療實驗室等,如:清華大學,北京大學,北京化工大學,北京理工大學,中國礦業(yè)大學,*民族大學,北京航空航天大學,首都師范大學,中國地質大學,中國人民大學,南開大學,天津大學,中國民航大學,天津科技大學,天津理工大學,天津商業(yè)大學,廣東工業(yè)大學,華東理工大學,中山大學,哈爾濱工業(yè)大學,福州大學,廈門大學,中國科技大學,復旦大學,華南理工大學,上海交通大學,蘭州大學,燕山大學,中國石油大學,真空氣氛管爐 旋轉電爐 立式管爐 快速退火爐 馬佛爐山東大學,武漢科技大學,華中科技大學,武漢大學,黑龍江大學,吉林大學,大連理工大學,四川大學 ,首都鋼鐵公司,武漢鋼鐵公司,天津鋼鐵公司,*大連化學物理研究所,*化學研究所,*物理研究所,*理化技術研究所,*工程與過程所,*生態(tài)環(huán)境研究中心,國家納米科學中心,北京有色金屬研究總院等等上百所高校、科研機構、企業(yè)建立了良好的合作關系。CVD系統(tǒng),真空氣氛管式爐,旋轉管式爐,多工位回轉爐,箱式馬弗爐,快速退火爐,立式管式爐,干燥箱,高溫氣氛箱式爐,中環(huán)實驗電爐CVD爐/rtp爐/快速退火爐/立式管式電爐/石磨希*爐/快速激活爐/粉體電爐/快速熱氧化爐/速激活爐/粉體電爐/快速熱氧化爐/管式電爐/箱式電爐氣氛/ 旋轉電爐/真空氣氛 /CVD電爐/真空氣氛爐/旋轉電爐立式管爐 /快速退火爐 /真空管式爐/多工位旋轉管式爐/多工位回轉爐/半導體CVD/真空鍍膜/高溫管式爐/PE CVD系統(tǒng)/干燥箱/中環(huán)馬弗爐CVD系統(tǒng),CVD石墨烯爐,CVD管式爐,快速退火爐,真空管式爐,旋轉管式爐,多工位回轉爐,氣氛箱式爐,立式管式爐,干燥箱,RTP管式爐,馬弗爐,CVD制備石墨烯,氣相沉積爐,高溫燒結爐,立式電爐,熱處理爐,箱式電阻爐,真空爐,真空燒結爐
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產地國產 加工定制
CVD/PECVD系列管式電爐等離子增強化學氣相沉積系統(tǒng)是利用輝光放電產生的等離子體中的電子動能去激活氣相的化學反應。該系統(tǒng)由SK2-1200系列真空管式爐、石英反應腔室、射頻電源、多通道混氣系統(tǒng)、真空機組、反應控制系統(tǒng)組成。
CVD/PECVD系列管式電爐 電阻爐 產品詳情

CVD/PECVD系列管式電爐等離子增強化學氣相沉積系統(tǒng)是利用輝光放電產生的等離子體中的電子動能去激活氣相的化學反應。該系統(tǒng)由SK2-1200系列真空管式爐、石英反應腔室、射頻電源、多通道混氣系統(tǒng)、真空機組、反應控制系統(tǒng)組成。

 

CVD/PECVD系列管式電爐設備特點:
1、  利用輝光放電產生等離子體電子激活氣相;
2、  提高了氣相反應的沉積速率、成膜質量;
3、  可通過調整射頻電源頻率來控制沉積速率;
4、  能廣泛用于:石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生長
 

 

石英管Φ60/80/100mm L1400mm
加熱區(qū)尺寸440mm
恒溫區(qū)尺寸200mm
控溫模式采用人工智能調節(jié)技術,具有PID調節(jié)、自整定功能,并可編制30段升降溫程序。
升溫速率≤20℃min
極限溫度≤1200℃
長時間工作溫度≤1150℃
表面溫度< 60℃(1000℃保溫)
控溫精度±1℃
加熱元件電阻絲(0Cr27Al7Mo2)
密封及連接方式CF  KF  真空波紋管

 
質量混氣系統(tǒng)

流量規(guī)格50sccm100sccm200sccm300sccm500sccm(可自選量程)
調節(jié)閥類型電磁調節(jié)閥
控制精度±0.2%F.S
工作壓差范圍(50~300)KPa
混氣罐尺寸Φ80×120mm
電功率AC220V/50HZ/20W

 
真空系統(tǒng)參數

低真空配置4L/S 機械泵  電阻真空計 真空波紋管 擋板閥
極限真空度:≤0.1Pa
高真空配置4L/S 機械泵  300L/S分子泵 復合真空計 真空波紋管 擋板閥 
極限真空度:≤1.3×10-4Pa

 
射頻電源系統(tǒng)

輸出功率5-300W   5-500W  (可選)
控制模式手動/PLC/PC
工作頻率13.56MHZ標準正弦波
供電電壓單相交流(190V~240V)
冷卻方式風冷

參數:

設備外形尺寸1800mm(長)*600mm(寬)*1390mm(高)
設備重量215KG

 

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