超純化水電導(dǎo)率≤0.08μS/cm@25℃; 電阻率:12-17ΜΩ·cm@25℃
水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)優(yōu)于中國國家實(shí)驗(yàn)室用水(GB6682-92)一級(jí)水標(biāo)準(zhǔn);優(yōu)于三次蒸餾水
吸光度(254nm,25px光程)≤0.001 可溶性硅(以計(jì)),mg/L﹤0.01
總有機(jī)碳量:TOC﹤15ppb 微粒子(大于0.22μm)含量: ﹤1/ml
重金屬含量(mg/L.max):﹤0.01 氧化矽含量(mg/L.max): ≤0.01