氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)
1、用途和特點(diǎn)
本儀器（Mass Flow Controller ）用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它在多個(gè)領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要而廣泛的應(yīng)用。
氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)
1、用途和特點(diǎn)
氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller ）用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它在多個(gè)領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要而廣泛的應(yīng)用。
質(zhì)量流量控制器具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬等（可以使用在高壓及真空系統(tǒng)）特點(diǎn)。操作使用方便，可任意位置安裝，配合DSN2000流量顯示儀或其他流量控制器顯示儀使用，也可直接同計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)RS-232 連接，非常方便的實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。它也可以作為氣體質(zhì)量流量計(jì)使用。配合DSN2000流量顯示儀對氣體的瞬時(shí)流量和累積流量進(jìn)行精確測量和控制。
2命名方法
本公司產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10583-94 、SJ37以及中華人民共和國國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范JJF 1246-2010 所規(guī)定的通用技術(shù)條件和命名方法。本技術(shù)說明書為氣體質(zhì)量流量控制器的使用說明書。
3、主要技術(shù)指標(biāo):
序號(hào) | 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
１ | 流量范圍 | 0～5，10，20，30，50，100，200，300，500 SCCM； 0～1，2，3，5，100，200，300 SLM |
2 | 準(zhǔn)確度 | ±1%F.S / ±2%F.S |
3 | 控制范圍 | 2%~F.S / 0%~F.S |
4 | 線性 | ±(0.5～2)%F.S / ±(0.5～1)%F.S |
5 | 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
6 | 響應(yīng)時(shí)間 | 電特性：＜10 / 氣特性：＜1～4 |
7 | 工作壓差范圍 | 0.05～0.3Mpa |
8 | 耐壓 | 3，10Mpa |
9 | 工作環(huán)境溫度 | 5～65℃ |
10 | 輸入輸出信號(hào)電壓 | 0～+5.00VDC 4~20mA |
11 | 電源 | +15V 50mA，－15V 50mA |
12 | 外形尺寸 | 130*28*121mm |
13 | 重量 | 1.0 / 1.5kg |
注意:
質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為: SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分);
SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 溫度 ---273.15K ( 0℃ );
氣壓 —- 101325 Pa (760mm Hg)
F.S (Full Scale): 滿量程值
4. 結(jié)構(gòu)工作原理
氣體質(zhì)量流量控制器由質(zhì)量流量傳感器，分流器通道，流量控制調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。
本流量控制器利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成。
采用毛細(xì)管傳熱溫差熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號(hào)進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號(hào)去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
分流器在主通道和毛細(xì)管間產(chǎn)生層流，用以擴(kuò)大通過流量控制器的流量。
控制器輸出的流量以電壓形式輸出，滿量程為5.00V。
控制器一般可以與計(jì)算機(jī)或與之相兼容的流量顯示儀連接。
直接與計(jì)算機(jī)連接,則需要用戶另行提供電源和A/D,D/A轉(zhuǎn)換卡。
控制操作一般在流量顯示儀上進(jìn)行。在流量顯示儀內(nèi)設(shè)置有三位閥門控制開關(guān)，當(dāng)置“關(guān)閉”位時(shí)，閥門關(guān)閉；當(dāng)置“清洗”位時(shí)，閥門開到zui大，以便氣路清洗，或作為流量計(jì)使用；當(dāng)置于“閥控”時(shí)，則按設(shè)定電壓的數(shù)值自動(dòng)控制氣體流量。（參考流量顯示儀的使用說明書）
控制器輸出的流量檢測電壓與流過通道的質(zhì)量流量成正比, 滿量程(F.S) 流量檢測輸出電壓為+5.00V。質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是(2~100)%F.S （量程比為50:1）, 流量分辨率是0.1%F.S 。
注意:
當(dāng)質(zhì)量流量控制器的“閥控”線置于“清洗”位時(shí)，也可以當(dāng)質(zhì)量流量計(jì)使用。在做
流量計(jì)使用時(shí)，流量檢測電壓的輸出值zui大可能達(dá)+10V以上，不過要注意，當(dāng)流量超過滿
量程值（+5.00V）后，流量檢測電壓與通過的實(shí)際流量不成線性對應(yīng)關(guān)系。清洗時(shí)，流量顯示不準(zhǔn)確，還可能出現(xiàn)流量增大顯示反而減小的異?，F(xiàn)象，但并不會(huì)對流量計(jì)本身造成損傷。在氣路中氣源未開啟的情況下，禁止使用清洗功能。用于“清洗”狀態(tài)的時(shí)間不宜過長，否則將對流量控制器的性能產(chǎn)生影響.
氣體質(zhì)量流量控制器
