技術(shù)參數(shù)
X軸(驅(qū)動部) | 測量范圍 | 100mm |
分辨率 | 0.05μm | |
測量方法 | 線性編碼器 | |
驅(qū)動速度 | 0-40mm/s | |
測量速度 | 0.02-5mm/s | |
測量方向 | 向后 | |
直線度 | 0.15μm /100mm | |
Z2軸(立柱) | 類型 | 手動操作或電驅(qū)動 |
垂直移動 | 350mm或550mm* | |
分辨率* | 1μm | |
測量方法* | 旋轉(zhuǎn)編碼器 | |
驅(qū)動速度* | 0-20mm/s *僅適于電驅(qū)動型 | |
檢測器 | 范圍/分辨率 | 800µm / 0.01µm, 80µm / 0.001µm, |
檢測方法 | 無軌/有軌測量 | |
測力 | 4mN 或 0.75mN (低測力型) | |
測針針尖 | 金剛石、90º / 5µmR | |
導頭曲率半徑 | 40mm | |
檢測方法 | 差動電感式 | |
控制器 | 顯示 | 7.5〞帶背光的TFT彩顯 |
打印機 | 內(nèi)置熱敏打印機 ! | |
放大倍率 | 水平:×10至×500,000、自動 垂直:×0.5至×10,000、自動 | |
驅(qū)動裝置的驅(qū)動 | 通過操縱桿手動手柄的操作 |