簡介：
美國AEP Technology公司主要從事半導(dǎo)體檢測設(shè)備, MEMS檢測設(shè)備, 光學(xué)檢測設(shè)備的生產(chǎn)制造，是表面測量解決方案行業(yè)的*供應(yīng)者,專門致力于材料表面形貌測量與檢測。公司始終致力于微觀表面“三維”檢測技術(shù)和設(shè)備的研發(fā)及推廣，歷經(jīng)近十年努力，已為30多個國家提供NanoMap系列三維
簡介：
美國AEP Technology公司主要從事半導(dǎo)體檢測設(shè)備, MEMS檢測設(shè)備, 光學(xué)檢測設(shè)備的生產(chǎn)制造，是表面測量解決方案行業(yè)的供應(yīng)者,專門致力于材料表面形貌測量與檢測。公司始終致力于微觀表面“三維”檢測技術(shù)和設(shè)備的研發(fā)及推廣，歷經(jīng)近十年努力，已為30多個國家提供NanoMap系列三維表面形貌測量系統(tǒng)。
NanoMap-PS是一款專門為nm級薄膜測量研發(fā)的無需防震臺即可測量的接觸式臺階儀。
特點：
1. 掃描性能穩(wěn)定，無需防震臺
2. 超低(0.01mg)接觸力
3. 一體化彩色攝像機在掃描同時可直接觀察樣品
4. 無需安裝一鍵操作
5. 簡單一鍵操作與用戶友好的操作界面
測量范圍：
測量表面可以覆蓋多種材料表面：金屬材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等，對于植物表面，生物材料，聚合物表面，光刻膠等“柔軟表面”也可測量無須擔(dān)心劃傷或破壞。設(shè)備傳感器精度高，穩(wěn)定性好。熱噪聲是同類產(chǎn)品zui低的。垂直分辨率可達0.1nm 。
應(yīng)用領(lǐng)域：
1. 薄膜厚度
2. 二維表面輪廓
3. 二維粗糙度 ISO24578
4. 劃痕磨損的寬度、深度和面積
5. 量綱分析
6. 微電子表面分析
7. MEMS器件表面分析
8. 太陽能電池表面分析
9. 納米材料研究
主要技術(shù)參數(shù)
垂直分辨率: 0.1nm
重復(fù)性: 0.5nm(1Sigema @1um)
垂直范圍: 1000um
掃描范圍: 5000um
