日本三豐激光全息測(cè)微計(jì)542-926
542 系列 — 超高精度光柵式測(cè)微儀(激光全息)
LGH ( 0.01μm 分辨力 )
特點(diǎn):
1.三豐公司的激光全息測(cè)微儀是一種數(shù)顯測(cè)量系統(tǒng),采用激光衍射測(cè)長(zhǎng)原理,進(jìn)行高精度和高重復(fù)精度測(cè)量。
2.緊湊型測(cè)頭降低了每個(gè)裝置組裝激光光柵尺所需的成本。測(cè)頭也有助于縮小整個(gè)系統(tǒng)的尺寸。本測(cè)微儀是測(cè)量?jī)x器或控制裝置長(zhǎng)度測(cè)量傳感器,也是高精密部件測(cè)量的選擇。
3.由于具有 0.00001mm ( 0.01μm ) 的*分辨力適于進(jìn)行高精度測(cè)量,其性能接近激光干涉儀。
4.具有*的測(cè)量穩(wěn)定性——高防護(hù)性設(shè)計(jì),適于在惡劣的環(huán)境下工作,如溫度和氣壓變化的環(huán)境。
5.低測(cè)力型也可用。低測(cè)力型可用于易變形的精密工件。
6.高可靠性和優(yōu)良耐用性測(cè)桿導(dǎo)軌使用高精度線性滾珠軸承以獲得非常平滑的運(yùn)動(dòng)效果和超長(zhǎng)耐用性。
7.分辨力為 0.01μm 的 LGH 與 EH-102S 計(jì)數(shù)器一起使用。
日本三豐激光全息測(cè)微計(jì)542-926
技術(shù)參數(shù)
精度: 參見性能參數(shù) ( 不包括量化偏差 )
分辨率: 0.01μm
長(zhǎng)度基準(zhǔn): 激光全息測(cè)量傳感器
zui大反應(yīng)速度: 250mm/s
測(cè)針: R5mm 硬質(zhì)合金
軸套: ø15mm
軸承類型: 高精度線性滾珠軸承
測(cè)力: 參見性能參數(shù)
輸出信號(hào):90度相位差,差動(dòng)方形波
信號(hào)間距:0.25μm
標(biāo)準(zhǔn)附件
538610:帶扳手的測(cè)頭
日本三豐激光全息測(cè)微計(jì)542-926
選件
•激光全息測(cè)微儀臺(tái)架: No.971750
•用于上表面固定的裝夾套筒固定裝置: No.971751
•用于下表面固定的裝夾套筒固定裝置: No.971752
•測(cè)桿提升線纜: No.971753
•塑料橡膠套管: No.238772 (備用)
性能參數(shù):
貨號(hào) | 542-925* | 542-927* | 542-926* | 542-928* | |
配置 | 單軸測(cè)微儀和 顯示裝置套裝 | 雙軸測(cè)微儀和 顯示裝置套裝 | 單軸測(cè)微儀和 顯示裝置套裝 | 雙軸測(cè)微儀和 顯示裝置套裝 | |
測(cè)量范圍 | 10mm | ||||
測(cè)量精度 ( 20ºC ) | 0.1µm*1 | ||||
重復(fù)性 | 0.02µm | ||||
回程誤差 | 0.05µm | ||||
測(cè)力 | 測(cè)桿朝上 | 約 0.35N 以下 | 約 0.1N | ||
測(cè)桿水平 | 約 0.45N 以下 | — | |||
測(cè)桿朝下 | 約 0.55N 以下 | — | |||
測(cè)頭 | ø3mm 硬質(zhì)合金 ( 固定螺絲 : M2.5 ( P=0.45 ) × 5 ) , 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭 20058 | ||||
輸出電纜長(zhǎng)度 | 2m | ||||
顯示范圍 | ±999.99999mm | ||||
zui小讀數(shù) | 0.01µm | ||||
運(yùn)行溫度 ( 濕度 ) 范圍 | 10 - 30ºC ( RH 30 - 70%, 無(wú)冷凝) | ||||
存儲(chǔ)溫度 ( 濕度 ) 范圍 | –10 - 50ºC ( RH 30 - 70%, 無(wú)冷凝 ) 拆開包裝后存放的溫度和濕度條件和操作時(shí)的條件相同 | ||||
標(biāo)準(zhǔn)附件 | 測(cè)頭扳手 : No.538610 AC 適配器 : No.02ADN460 AC 電纜 ( 日本 ) : No.02ZAA000* AC 電纜 ( 美國(guó) ) : No.02ZAA010* AC 電纜 ( 歐盟 ) : No.02ZAA020* AC 電纜 ( 英國(guó) ) : No.02ZAA030* AC 電纜 ( 中國(guó) )) : No.02ZAA040* AC 電纜 ( 韓國(guó) ) : No.02ZAA050* | ||||
重量 ( 測(cè)微儀 + 顯示裝置) | 1400g |
*1: 使用計(jì)數(shù)器時(shí)使用的指示精度值、
* 為區(qū)分交流電源電纜,在貨號(hào)后加上以下后綴: A 適于UL/CSA , D適于CEE , DC 適于 CCC ,E適于 BS ,K 適于 KC ,C和無(wú)后綴適于PSE 。
產(chǎn)品圖片:
產(chǎn)品尺寸: