半導(dǎo)體電阻率測試儀 型號:SHY-JBD86A | 貨號:ZH9054 |
產(chǎn)品簡介: 半導(dǎo)體電阻率測試儀是我廠推出的的普及型半導(dǎo)體電阻率測試儀器,本儀器是根據(jù)四探針原理,適合半導(dǎo)體器材廠,材料廠用于測量半導(dǎo)體材料(片狀、棒狀)的體電阻率,方塊電阻(簿層電阻),也可以用作測量金屬薄層電阻,經(jīng)過對用戶、半導(dǎo)體廠測試的調(diào)查,根據(jù)美國ASTM標準的規(guī)定,在電路和探頭方面作了重大的修改和上的許多,它適合于半導(dǎo)體器材廠檢測方面對中值、高阻硅、鍺材料方塊電阻和體電阻率的測量需要,成為普及型的電阻率測試儀,具有測量精度高,穩(wěn)定性好,輸入阻抗高,使用方便、價格低廉等特點。 儀器指標: 測量范圍:電阻率10-3—103Ω-cm,分辯率為10-4Ω-cm ,可擴展到105Ω-cm 方塊電阻10-2—104Ω/□,分辯率為10-3Ω/□,可擴展到106Ω/□ 薄層金屬電阻10-4—105Ω,分辯率為10-4Ω 可測半導(dǎo)體材料尺寸:直徑Φ15—Φ125mm; 長度:150mm(可擴展500mm) 測量方式:軸向、斷面 數(shù)字電壓表: 量程:20mV(分辯率:10μV)、200mV、2V 測量誤差:±0.3%讀數(shù)±1字 輸入阻抗:大于108Ω 顯示3 1/2 位紅色發(fā)光二管(LED)數(shù)字顯示 0---1999具有性、過載、小數(shù)點、單位自動顯示 恒流源:由交流供電,具有的防泄漏隔離功能 直流電流:0—100mA連續(xù)可調(diào) 量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 分辯率:10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA 電流誤差:±0.3%讀數(shù)±2字 電性能模擬考核誤差:<±0.3%ASTM指標 測試探頭:(1)探針機械游移率:± 0.3% ASTM 指標 電源:交流220V±10% 50HZ或60HZ 功率消耗< 30W 電氣箱外形尺寸:119×440×320mm |