| 電子薄膜應(yīng)力分布測試儀 型號：HFGS-6341 | 貨號：ZH9912 |
| 產(chǎn)品簡介 該產(chǎn)品主要應(yīng)用在微電子、光電子生產(chǎn)線上和科研、教學(xué)等領(lǐng)域Si、Ge、GaAs等半導(dǎo)體基片及電子薄膜應(yīng)力分布、光學(xué)零件面形和平整度面形、 基片曲率半徑測量測試。該儀器總測量點數(shù)多，能給出場面型分布結(jié)果，適合于微電子生產(chǎn)線上產(chǎn)量的快速檢驗和微電子生產(chǎn)研究。 儀器基于干涉計量的場測試原理，可實時觀測面型的分布，迅速了解被測樣品的形貌及應(yīng)力集中位置，及時淘汰早期失效產(chǎn)品。 產(chǎn)品特點 *的錯位相移 計算機(jī)自動條紋處理 測試過程自動 的曲面補償測試原理 指標(biāo) Z大樣品尺寸：≤100mm (4英寸) 曲率范圍：|R|≥5米 測試精度：5% 單片測量時間：3分鐘/片 結(jié)果類型：面形、曲率半徑、應(yīng)力分布、公式表示、數(shù)據(jù)表格 圖形顯示功能：三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示 電 源：AC 220V±10%, 50Hz±5% Z大功耗：100W 外型尺寸：(L×W×H) 285mm×680mm×450mm 重 量：36kg |  |
