遼寧研生科技有限公司是壓電納米定位超精密位移臺(tái)的專業(yè)制造商。
壓電平移臺(tái) 壓電納米定位臺(tái) 超大行程2000μm 中國(guó)制造商 技術(shù)
2000μm超大行程 1~3維壓電納米定位 壓電平移臺(tái) ║P15系列
二維納米級(jí)精密定位 壓電平移臺(tái) ║P15系列
行程:XY2000μm
壓電平移臺(tái) 壓電納米定位臺(tái) 超大行程2000μm 中國(guó)制造商 技術(shù)
2000μm超大行程 1~3維壓電納米定位 壓電平移臺(tái) ║P15系列
P15系列是采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的二維納米級(jí)精密壓電納米定位臺(tái),壓電平移臺(tái)內(nèi)部使用無(wú)摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),壓電平臺(tái)采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),復(fù)合式的柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度、有效消除側(cè)向運(yùn)動(dòng)分量,同時(shí)具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)。超大行程2000μm,壓電平移臺(tái)內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,確保了平臺(tái)具有的運(yùn)動(dòng)控制精度,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí),定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。壓電平臺(tái)為無(wú)磁材質(zhì),使用過(guò)程中不產(chǎn)生磁場(chǎng)同時(shí)也不受磁場(chǎng)的影響。
壓電平移臺(tái) 壓電納米定位臺(tái) 超大行程2000μm 中國(guó)制造商 技術(shù)
2000μm超大行程 1~3維壓電納米定位 壓電平移臺(tái) ║P15系列
產(chǎn)品特點(diǎn):
◆ 采用無(wú)摩擦高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng),有效消除側(cè)向運(yùn)動(dòng)分量;
◆ 內(nèi)置高性能的壓電陶瓷,高可靠性;
◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,開(kāi)/閉環(huán)可供選擇。
壓電平移臺(tái) 壓電納米定位臺(tái) 超大行程2000μm 中國(guó)制造商 技術(shù)
2000μm超大行程 1~3維壓電納米定位 壓電平移臺(tái) ║P15系列
產(chǎn)品應(yīng)用:
顯微光學(xué) • 半導(dǎo)體測(cè)試 • 干涉測(cè)量 • 納米定位 • 生物技術(shù) • 微加工 • 微操作
遼寧研生科技有限公司 ┃ 壓電 • 納米 • 定位 ┃ 壓電陶瓷元件/促動(dòng)器 ┃ 一至六維納米級(jí)精密定位臺(tái)/掃描臺(tái) ┃ 壓電平移臺(tái)/升降臺(tái)/偏擺臺(tái)/旋轉(zhuǎn)臺(tái) ┃ 可根據(jù)用戶需求提供各種類型的納米級(jí)精密定位系統(tǒng)的解決方案 ┃
壓電納米定位 超精密位移臺(tái) *遼寧研生 中國(guó)制造