項目/型號 | XYG- 20-H | XYG- 40-H | XYG- 60-H | XYG- 90-H | |
進(jìn)水水源 | 反滲透水、蒸餾水、去離子水 | ||||
產(chǎn) 水 量 | 20 L/hr | 40 L/hr | 60 L/hr | 90 L/hr及以上 | |
產(chǎn)水水質(zhì) | * 級超純水 :電阻率大于 18.2M Ω .cm@25 ℃ 電導(dǎo)率小于0.055μs/cm@25℃ | ||||
TOC 含量 | ≤ 3ppb | ||||
熱源含量 | <0.001EU/ml | ||||
微雜質(zhì)顆粒物 | ≤0.2μm | ||||
微生物 | <1cfu/ml | ||||
外型尺寸 | 320 × 480 ×560(mm) |