導(dǎo)讀：隨著去年由牛津儀器主辦，中科院半導(dǎo)體所協(xié)辦的研討會(huì)成功舉行，吸引了110余名來自半導(dǎo)體領(lǐng)域的用戶。今年牛津儀器將再次在上海舉辦為期一天的納米級(jí)等離子研討會(huì)。
　　
　　研討會(huì)設(shè)在Semicon2012的前一天，牛津儀器的國(guó)外應(yīng)用專家及國(guó)內(nèi)機(jī)構(gòu)的用戶將出席并發(fā)言。
　　
　　本次研討會(huì)主題與主講者如下：
　　        •IntroductiontoALDanditsapplications,includingphotovoltaics;ProfErwinKessels,UniversityofEindhoven（TU/e）,Netherlands
　　
　　•Etch&depositionprocessintheOPTOandMEMSapplicationdevice;Dr.ChuAnn-Kuo，ProfessorofDepartmentofPhotonics,NationalSunYat-senUniversity,Taiwan
　　
　　•InfraredFocalPlaneArrays（IRFPAs）detectorforspaceapplications;Dr.ZhenghuaYE,SITP（ShanghaiInstituteofTechnologyPhysics）
　　　　        •Micro/NanofabricationandcharacterizationofSifieldelectronemitters;GuestSpeaker:Dr.JuncongSHE,SunYat-SenUniversity,China
　　
         •ALDusedintheMEMSapplication;JerryWang,ManagerofMicrosystemsTechnologyCenter,ITRI,Taiwan
　　
　　牛津儀器等離子部的亞洲JeffreySeah將為這次研討會(huì)致開幕詞：“預(yù)計(jì)將有許多的觀眾參加這次的研討會(huì),我們非常榮幸地邀請(qǐng)到了國(guó)內(nèi)機(jī)構(gòu)的用戶介紹他們?nèi)绾尾僮魇褂梦覀兊牡入x子工藝，同時(shí)還有機(jī)會(huì)與等離子工藝應(yīng)用專家們分享經(jīng)驗(yàn),從而讓大家學(xué)習(xí)到更多的相關(guān)知識(shí)。”
　　
　　我們?cè)?011年取得了成功，今年的研討會(huì)也會(huì)有眾多的嘉賓到場(chǎng)并發(fā)表精彩演講，牛津儀器真誠(chéng)地期待對(duì)等離子工藝的學(xué)術(shù)和生產(chǎn)有濃厚興趣的觀眾參加。
　　
　　此次活動(dòng)可免費(fèi)參加，但必須提前通過以下預(yù)訂process.news@oxinst.com或lingling.wang@oxinst.com
　　
　　關(guān)于牛津
　　
　　牛津儀器公司于1959年創(chuàng)建于英國(guó)牛津，現(xiàn)已成為世界的科學(xué)儀器跨國(guó)集團(tuán)公司，是光譜儀、測(cè)厚儀、能譜儀、等離子設(shè)備、超導(dǎo)超低溫產(chǎn)品、核磁共振儀、低溫泵壓縮機(jī)、X射線管等方面的專家，擁有分布于英國(guó)、美國(guó)、芬蘭、丹麥、德國(guó)和中國(guó)的十幾個(gè)工廠以及遍及的分公司或辦事處。

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